基于机器学习的逆向光刻技术
编者按
中国科学院大学集成电路学院是国家首批支持建设的示范性微电子学院。为了提高学生对先进光刻技术的理解，本学期集成电路学院开设了《集成电路先进光刻技术与版图设计优化》研讨课。在授课过程中，除教师系统地讲授外，学生还就感兴趣的课题做深入调研。师生共同讨论调研报告，实现教学互动。调研的内容涉及光刻工艺、光刻成像理论、SMO、OPC和DTCO技术。
考虑到这些内容也是目前业界关注的实用技术，征得教师和学生的同意，本公众号将陆续展示一些学生的调研结果。这些报告还很初步，甚至有少许谬误之处，请业界专家批评指正。
以下为报告PPT：
审核编辑：汤梓红
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
集成电路
+关注
关注
5388文章
11544浏览量
361776 -
机器学习
+关注
关注
66文章
8416浏览量
132616 -
光刻技术
+关注
关注
1文章
146浏览量
15825
原文标题：【Study】基于机器学习的逆向光刻技术
文章出处：【微信号：光刻人的世界，微信公众号：光刻人的世界】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。
发布评论请先 登录
相关推荐
光刻技术原理及应用
随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级（从毫米级到亚微米级），已从常规光学技术发展到应用电子束、 X射线、微离子束、激光等新
发表于 01-12 10:51
【下载】《机器学习》+《机器学习实战》
创建能够最好地捕捉数据预测能力的精确模型。3.将机器学习模型集成到企业系统、集群和云中，并且将模型输出到实时嵌入式硬件。听说，最近有一个深圳地区线下学习和交流的技术讲座，有好几位在业内
发表于 06-01 15:49
基于深度学习技术的智能机器人
——工业机器人的智能化程度要求也越来越高，采用深度学习技术为工业机器人赋能是目前各大厂商的统一认知。本文结合实际案例，简要说明一下智能机器人
发表于 05-31 09:36
光刻机工艺的原理及设备
关于光刻工艺的原理，大家可以想象一下胶片照片的冲洗，掩膜版就相当于胶片，而光刻机就是冲洗台，它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上，然后通过刻蚀技术把电路“画”在晶圆上。
发表于 07-07 14:22
机器人技术和机器学习
机器人技术和机器学习正成为嵌入式系统硬件和软件供应商的下一个重大事件。嵌入式系统可以通过网络连接和物联网（IoT）来传递信息、共享资源。无论是智能，低能耗，边缘设备，中间网关还是计算节
发表于 12-20 06:03
什么是机器学习? 机器学习基础入门
本文旨在为硬件和嵌入式工程师提供机器学习(ML)的背景，它是什么，它是如何工作的，它为什么重要，以及 TinyML 是如何适应的机器学习是一个始终存在并经常被误解的
发表于 06-21 11:06
我们能否用逆向技术来复制荷兰的光刻机技术
从理论上看，使用逆向技术确实可以复制荷兰ASML的光刻机技术，但是从实际出发，这是行不通的，就算把光刻机的设计图纸给我们，我们也无法生产。
深度学习技术能否成为我国制造光刻机弯道超车的机会
深度学习经过15年的发展现已应用于：科学研究、基因测序、油气勘探、气象预测等各个领域，在高性能计算HPC的加持下，与大数据、模拟仿真、人工智能AI等技术逐步与深度计算融合。 技术背景 光刻
发表于 12-16 10:36
•986次阅读
逆向光刻的原理及其优势
中国科学院大学集成电路学院是国家首批支持建设的示范性微电子学院。为了提高学生对先进光刻技术的理解，本学期集成电路学院开设了《集成电路先进光刻技术与版图设计优化》研讨课。
面向光刻的设计规则建立及优化
中国科学院大学集成电路学院是国家首批支持建设的示范性微电子学院。为了提高学生对先进光刻技术的理解，本学期集成电路学院开设了《集成电路先进光刻技术与版图设计优化》研讨课。在授课过程中，除
正向光耦和反向光耦区别
正向光耦和反向光耦区别 正向光耦和反向光耦是电子元件中常见的两种类型的光耦，它们在电气隔离和信号传输方面有着不同的特性。本文将详细介绍正向光
工商网监
评论