0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

厦门大学张洪良团队在氧化镓半导体带隙工程和日盲紫外光电探测器研究取得进展

第三代半导体产业 来源:第三代半导体产业 2023-07-04 16:48 次阅读

近年来,以氮化镓(SiC)、碳化硅(GaN)等为代表的第三代(宽禁带)半导体由于其独特的光电性质、高击穿场强和电子饱和速率等显著优势,在显示、5G通讯、新能源汽车、轨道交通等高新产业领域逐渐获得重要应用。以宽禁带半导体为核心的技术和应用已成为全球半导体产业竞争的新战略高地。我国在“十四五”规划纲要中也提出大力发展第三代宽禁带半导体产业。氧化镓(Ga2O3)是继SiC、GaN之后的一种新兴的宽禁带半导体(禁带宽度为4.9 eV),具有比GaN(3.4 eV)、SiC(3.3 eV)更宽的禁带宽度,更高的击穿电场,是新一代功率电子器件、深紫外日盲光电探测器件的优选材料(图1)。氧化镓材料及器件作为半导体领域一颗冉冉升起的新星,受到了各国学术界和产业界的强烈关注。

氧化镓的禁带宽度可以通过与Al2O3形成(AlxGa1-x)2O3合金半导体进一步调控。一方面,更大的带隙可以使功率器件实现更高的击穿场强;更大的带隙也使日盲光电探测器件响应更宽的光谱范围,实现日盲光的全覆盖探测。另一方面,(AlxGa1-x)2O3合金半导体与Ga2O3形成的异质结,可以在界面处形成二维电子气(two dimensional electron gas, 2DEG),能够应用于高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor, HEMT)器件。

56352cfc-1992-11ee-962d-dac502259ad0.png

图1. 半导体材料的发展历程(左图)和日盲深紫外光电探测技术(右图)。

近期,厦门大学张洪良课题组联合上海光机所齐红基、陈端阳团队,采用(AlxGa1-x)2O3合金化能带工程,实现了禁带宽度从4.8 eV到6 eV大范围调控,并在此基础上完成了对日盲紫外区全波段覆盖的日盲光电探测器的开发(图2)。该系列的日盲紫外探测器检测截止波长可以从263 nm调节到236 nm,响应峰从238 nm调节到209 nm,且具有优异的比探测率(高达1015 Jones),较大的紫外可见抑制比(≈ 105),以及良好的长时间运行稳定性。同时,该团队开发了具备数字接口的日盲紫外探测器测试模块,实现对人造电弧的实时灵敏监测(图3)。全日盲紫外波段检测技术能广泛应用在如天文学、地球气象学、材料科学、环境科学等各个领域,通过高精度地绘制日盲光区的光谱特征,为这些领域的监测对象提供了更加全面、精细的物质结构和化学组成信息

567b13fc-1992-11ee-962d-dac502259ad0.png

图2. (a-b) (AlxGa1-x)2O3合金薄膜的带隙演变;(c-d) (AlxGa1-x)2O3合金薄膜光电探测器对日盲波段的有效覆盖。

56a8fab0-1992-11ee-962d-dac502259ad0.png

图3. 实现(AlxGa1-x)2O3合金薄膜光电探测器的电路集成,并完成对人造电弧信号的灵敏监测。

另一方面,作者也通过高分辨X射线光电子能谱与密度泛函理论(DFT)计算对(AlxGa1-x)2O3的电子结构进行了深入的研究,并从电子结构和能带的角度分析了光电探测器中器件优异性能的来源(图4)。研究发现,(AlxGa1-x)2O3合金薄膜带隙的增大主要是由于在导带处引入了能量相对较高的Al 3s态,未占据Al 3s与Ga 4s杂化导致导带边上移。然而,价带边变化较小,因为它们主要由占据的O 2p态组成,与Ga 3d杂化较少。计算表明导带依然呈现高色散的状态,这意味着电子有效质量较低,可以维持(AlxGa1-x)2O3的高电子迁移率。这一特性为实现全日盲波段覆盖的高性能日盲紫外光电探测应用打下了坚实的理论依据。

5705d0be-1992-11ee-962d-dac502259ad0.png

图4. (AlxGa1-x)2O3合金薄膜的电子结构演变。

本研究工作为开发高灵敏多光谱的日盲紫外光电探测器,以及(AlxGa1-x)2O3能带调控和界面异质结二维电子气提供了重要的研究基础。相关工作以“Tuning the Bandgaps of (AlxGa1-x)2O3 Alloyed Thin Films for High-Performance Solar-Blind Ultraviolet Fully Covered Photodetectors”为题发表在国际著名期刊Advanced Optical Materials上,厦门大学博士研究生徐翔宇为论文第一作者。本工作得到了国家重点研发计划项目和深圳市基础研究专项的资助和支持。

572e2910-1992-11ee-962d-dac502259ad0.png

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 半导体
    +关注

    关注

    334

    文章

    26802

    浏览量

    213885
  • 光电探测器
    +关注

    关注

    4

    文章

    262

    浏览量

    20436
  • 氧化镓
    +关注

    关注

    5

    文章

    73

    浏览量

    10236

原文标题:厦门大学张洪良团队在氧化镓半导体带隙工程和日盲紫外光电探测器研究取得进展

文章出处:【微信号:第三代半导体产业,微信公众号:第三代半导体产业】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    紫外光源的分类

    自然界中存在多种紫外光谱,人工紫外光源包括气体放电、超高温辐射体和半导体光源。常用紫外光源有高压汞灯、氙灯、氪灯、氘灯、紫外LED和准分子激
    的头像 发表于 10-25 14:10 81次阅读

    中科院重庆研究势垒可光调谐新型肖特基红外探测器研究进展

    限制的势垒可光调谐肖特基红外探测器。 内光发射效应作为光电效应的重要分支,阐明了光照射至金属-半导体界面时热载流子如何被激发并跨越肖特基势垒,最终进入半导体以完成
    的头像 发表于 06-25 06:27 243次阅读
    中科院重庆<b class='flag-5'>研究</b>院<b class='flag-5'>在</b>势垒可光调谐新型肖特基红外<b class='flag-5'>探测器</b><b class='flag-5'>研究</b>获<b class='flag-5'>进展</b>

    华润微电子与厦门大学签署战略合作协议

    6月20至21,华润微电子总裁李虹博士一行赴厦门大学交流调研,与厦门大学党委书记、中国科学院院士荣等就深化产学研用合作进行座谈交流,并
    的头像 发表于 06-24 10:50 487次阅读

    半导体所量子点异质外延研究取得重要进展

    具有重要应用价值。半导体量子点材料的制备和以其为基础的新型信息器件是信息科技前沿研究的热点。 近期,中国科学院半导体研究所王占国院士的指导
    的头像 发表于 06-14 16:04 374次阅读
    <b class='flag-5'>半导体</b>所量子点异质外延<b class='flag-5'>研究</b><b class='flag-5'>取得</b>重要<b class='flag-5'>进展</b>

    北京铭半导体引领氧化材料创新,实现产业化新突破

    北京顺义园内的北京铭半导体有限公司超宽禁半导体氧化
    的头像 发表于 06-05 10:49 813次阅读

    金属氧化物异质结光电探测器研究进展综述

    金属氧化物(MO)因其具有易于制备、高稳定性、对载流子的选择性传输等优点,被广泛应用于光电探测领域。
    的头像 发表于 05-13 09:09 796次阅读
    金属<b class='flag-5'>氧化</b>物异质结<b class='flag-5'>光电</b><b class='flag-5'>探测器</b><b class='flag-5'>研究进展</b>综述

    一种基于AlGaAs/GaAs渐变pn结探测器的单像素智能微型光谱仪

    上海科技大学信息科学与技术学院陈佰乐、虞晶怡团队最新研究成果:提出了一种基于AlGaAs/GaAs渐变pn结
    的头像 发表于 03-06 09:32 479次阅读
    一种基于AlGaAs/GaAs渐变<b class='flag-5'>带</b><b class='flag-5'>隙</b>pn结<b class='flag-5'>探测器</b>的单像素智能微型光谱仪

    可片上探测和预处理的仿生视听光电探测器

    模仿人类感知系统的仿生视听光电探测器工作原理示意图。PPC,正光电流;ZPC,无光电流;NPC,负光电流。 近日,中国科学院重庆绿色智能技术
    的头像 发表于 03-06 06:28 337次阅读
    可片上<b class='flag-5'>探测</b>和预处理的仿生视听<b class='flag-5'>光电</b><b class='flag-5'>探测器</b>

    厦门大学OpenHarmony技术俱乐部正式揭牌成立

    技术指导委员会与厦门大学共同举办的厦门大学OpenHarmony技术俱乐部成立仪式翔安校区益海嘉里楼报告厅举行。 嘉宾合影 OpenHarmony项目群技术指导委员会领导下,Ope
    的头像 发表于 01-04 21:15 502次阅读
    <b class='flag-5'>厦门大学</b>OpenHarmony技术俱乐部正式揭牌成立

    资讯速递 | 厦门大学OpenHarmony技术俱乐部正式揭牌成立

    12月29下午,由OpenAtom OpenHarmony(以下简称“OpenHarmony”)项目群技术指导委员会与厦门大学共同举办的厦门大学OpenHarmony技术俱乐部成立仪式
    的头像 发表于 01-02 16:51 457次阅读
    资讯速递 | <b class='flag-5'>厦门大学</b>OpenHarmony技术俱乐部正式揭牌成立

    用于光通信的高效DUV微型LED和新型光电探测器的开发

    三五族氮化物半导体材料,包括氮化,氮化铝,氮化铟及其它们的合金,以其独特的直接半导体特性和从0.6eV到6.2eV连续可调禁带宽度特点
    的头像 发表于 12-21 09:46 647次阅读
    用于<b class='flag-5'>日</b><b class='flag-5'>盲</b>光通信的高效DUV微型LED和新型<b class='flag-5'>光电</b><b class='flag-5'>探测器</b>的开发

    半导体石墨烯光电探测器取得进展

    :当石墨烯用作光吸收介质时,传感通常只能表现出mA/W级别的弱光学响应度。团队通过开解单壁碳纳米管制备了具有直接为 1.8 eV 的半导体
    的头像 发表于 12-13 12:33 1135次阅读
    <b class='flag-5'>半导体</b>石墨烯<b class='flag-5'>光电</b><b class='flag-5'>探测器</b><b class='flag-5'>取得</b>新<b class='flag-5'>进展</b>

    基于范德瓦尔斯材料的红外光电探测器光电响应机制、性能优化方法研究

    红外光探测领域的应用。 据麦姆斯咨询报道,近期,深圳大学电子与信息工程学院的科研团队《材料导报》期刊上发表了以“基于范德瓦尔斯材料的红外
    的头像 发表于 12-03 14:35 801次阅读
    基于范德瓦尔斯材料的红外<b class='flag-5'>光电</b><b class='flag-5'>探测器</b>的<b class='flag-5'>光电</b>响应机制、性能优化方法<b class='flag-5'>研究</b>

    北理工室温运行中波红外探测器研究方面取得突破性进展

    北京理工大学郝群教授团队室温运行中波红外探测器研究方面取得突破性的
    的头像 发表于 11-14 09:43 594次阅读
    北理工<b class='flag-5'>在</b>室温运行中波红外<b class='flag-5'>探测器</b><b class='flag-5'>研究</b>方面<b class='flag-5'>取得</b>突破性<b class='flag-5'>进展</b>

    厦门大学保平教授课题组发表绿光GaN基VCSEL重要成果

    近日,厦门大学电子科学与技术学院保平教授等氮化垂直腔面发射激光(GaN基VCSEL)方面取得
    的头像 发表于 11-10 09:48 708次阅读
    <b class='flag-5'>厦门大学</b><b class='flag-5'>张</b>保平教授课题组发表绿光GaN基VCSEL重要成果