TDK株式会社(东京证券交易所代码:6762)推出两款新的采用符合RoHS要求的锆钛酸铅 (PZT) 材料制成的铜内电极压电执行器——COM30S5和COM45S5。新款元件采用TDK获得专利的基于铜电极的HAS(高有效堆叠)技术,以无外壳封装的被动元件供货,实现了良好的动态范围、高力量/体积比和纳米级精度。比之其他技术,TDK采用HAS技术的压电执行器性能更佳,湿度稳定性更好、使用寿命更长。
两款新元件覆盖电压范围为-10至+180 V,额定位移在+160 V处达到,允许的表面温度范围为-40至+160°C,高度分别为30 mm和45 mm,横截面尺寸为5.2 mm x 5.2 mm,并且在160 V和730 N的预紧力条件下可实现55 µm (COM30S5) 和83 µm (COM45S5) 的位移。
此外,TDK计划于2023年再推出另外三款执行器,以满足更广泛的应用要求。目前,这些执行器仅作为少量原型样品供应,尚未量产,具体包括高度为10 mm、位移量为16 µm的COM10S5;高度为27 mm、位移量为47 µm的COM27S3(带引线型);以及高度为30 mm、横截面为7 mm x 7 mm、位移量为55 µm、推力高达2600 N的COM30S7。
TDK的压电执行器口碑好,应用范围广,适合包括纳米级定位技术、工艺工程中液体和气体的高精度阀门控制,以及半导体制造等高端解决方案在内的诸多应用。
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