AMEYA360分析蔡司用于亚10纳米级应用的离子束显微镜

蔡司用于亚10纳米级应用的离子束显微镜ORION NanoFab,集 3 种聚焦离子束于一身的显微镜，可以实现亚 10 nm 结构的超高精度加工快速、精准的亚 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换。

产品特点：

快速亚 10 nm 结构加工

使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细亚 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料，在亚 10nm 加工应用中 ORION NanoFab 均表现不凡。

集三种离子束显微技术于一体

使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用精准的氖离子束快速完成微加工，利用氦离子束加工精细的亚 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传统 FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化。

高分辨率成像

借助 0.5 纳米成像分辨率，它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）成像相比，其可获得 5 至 10 倍的景深并和更丰富的图像细节

ORION NanoFab 集镓、氖、氦三种离子束于一身，是能实现从微米到纳米微加工的先进成像加工系统。

审核编辑 黄宇