北方华创最近发布了一款名为Accura BE的12英寸等离子体刻蚀机,该设备应用于晶边刻蚀(Bevel Etch)工艺,实现了国产晶边干法刻蚀设备的突破。这项突破为我国先进芯片制造提供了高效的良率提升解决方案。
北方华创自2001年成立以来一直致力于研究刻蚀技术,并于2005年推出第一台8英寸ICP刻蚀机,随后带领国产刻蚀机的交付量逐渐增加,突破了1000台。
据北方华创相关负责人表示,“Accura BE作为国产首台12英寸晶边刻蚀设备,其技术性能已达到业界主流水平。” Accura BE通过软件系统调度优化和特有传输平台的结合,可以提升客户的产能。它可以选择多种刻蚀气体,实现对光刻胶(PR)、氧化物(OX)、氮化硅(SiN)、碳(Carbon)和金属(Metal)等多种膜层材料的晶边刻蚀工艺全覆盖。同时,它还可以提供定制的聚焦环设计组合,实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制,为客户提供灵活、全面的良率提升方案。此外,Accura BE还具备软件智能算法,可以进行可视化的量化调节,简化维护流程,提高设备的生产效率。
最新发布的12英寸等离子体刻蚀机Accura BE技术性能已达到业界主流水平。该设备主要有以下亮点:
1. 通过软件系统调度优化和特有传输平台的结合,能够帮助客户实现更高的产能。
2. 可选择多种刻蚀气体,实现对光刻胶(PR)、氧化物(OX)、氮化硅(SiN)、碳(Carbon)和金属(Metal)等多种膜层材料的晶边刻蚀工艺全覆盖。
3. 可定制多种尺寸的聚焦环设计组合,实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制,为客户提供灵活、全面的良率提升方案。
4. 配备软件智能算法,可实施可视化的量化调节,简化维护流程,提高设备的生产效率。
这些亮点使Accura BE在刚刚上市时就赢得了逻辑及存储器领域头部客户的多个订单,并且已经通过了工艺调试,进入了量产阶段。
编辑:黄飞
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