虹科干货 | MEMS传感器“扫盲指南"（上）

MEMS传感器是最先进的微型设备之一，以令人难以置信的精确度测量物理量，有力地改变着各行各业。

MEMS技术使得高度集成系统的开发成为可能，这些系统用于监控工艺性能，并为制造厂的自动控制系统提供至关重要的反馈。更不用说，它还通过精确测量储罐和管道内部的压力来确保安全，从而减轻潜在的危险。

让我们深入探究MEMS传感器，了解它们的工作原理、应用以及在工业领域中的重要作用。

一、什么是MEMS传感器？

MEMS传感器是用于测量压力、温度、加速度和磁场等物理量的微型设备。

微电子机械系统（MEMS）传感器广泛应用于各种领域，从医疗到汽车系统，其坚固的机械结构使其能够在恶劣的环境条件下工作。

虹科ESCP-MIS2传感器采用ES Systems独有的SOI微纳加工TM30工艺构建电容式MEMS传感器，用于绝对电容式压力传感器，能够承受从-20℃到+85℃的温度范围。

MEMS传感器由电子和机械组件组成。微电子组件负责感知和处理数据，而机械部分提供物理反馈。这种组合使得MEMS传感器小巧、可靠且具有成本效益。

二、MEMS传感器的作用是什么？

MEMS设备，尤其是MEMS压力传感器，已成为不可或缺的工业工具，它们可以在封闭系统中提供测量，或者监测大气条件的变化。

三、什么是MEMS技术？

近年来，MEMS技术显著改变了制造和设计实践。

微纳加工和纳米技术相结合，形成了一种方法，可以创造出同时具有机械和电子组件的小型设备，广泛应用于从医疗应用到消费电子的各个行业，充分利用它们的小尺寸和高精度，使我们能够生产更高效的产品。

MEMS制造使用光刻、蚀刻、沉积和键合等工具，在微米尺度上制造结构，以在各个行业中使用。现在工程师们可以利用MEMS制造技术，为创新和在多个领域取得进步提供无尽的机会。

四、一些热门的MEMS传感器示例

以下是目前可用的一些不同类型的MEMS传感器及它们在各种情况下的应用：

1. MEMS压力传感器

常用于工业自动化系统、汽车系统和医疗设备，用于测量和监测封闭系统（如储罐或管道）中的压力。

2. MEMS加速度计

这些加速度计用于航空航天、汽车和消费电子产品中，用于测量加速度、倾斜、振动和运动，从而提供动作检测和稳定控制功能。

3. MEMS陀螺仪

在导航系统、无人机和虚拟现实设备中广泛使用，用于精确测量角速度和方向。

4. MEMS温度传感器

在暖通空调系统、工业过程和医疗设备中使用，以监测和调节温度，以实现最佳性能和安全性。

5. MEMS麦克风

MEMS麦克风可以在智能手机、可穿戴设备和音频系统中找到，将声波转换为电信号，实现清晰的音频重现。

6. MEMS气体/流量传感器

这些传感器被广泛用于环境监测、医疗设备开发、汽车排放控制系统和工业安全系统，用于检测和测量各种气体或流体流量，以确保质量和安全标准得以保持。

想要知道【MEMS压力传感器是如何工作的】以及【当今工业中MEMS压力传感器的主要应用是什么吗】？

留下您的关注，下期给大家介绍~

审核编辑 黄宇