菲莱测试：深耕光芯片测试技术，助力光传感产业发展

微访谈：菲莱测试研发总监张文修

采访背景：上海菲莱测试技术有限公司（简称：菲莱测试）是一家专注芯片检测、可靠性、封测技术开发的高新技术企业，半导体老化测试设备和相关服务提供商，致力于帮助客户解决半导体芯片测试和可靠性问题。菲莱测试旗下拥有菲莱科技、菲光科技两个自主品牌，业务覆盖光通讯、消费电子、车载芯片等领域。菲莱测试团队在光芯片测试设备领域拥有丰富的从业经验，长期从事光芯片相关工艺、测试、封装及可靠性研究，并对光芯片技术及应用具有深刻的理解。菲莱测试总部位于上海，在天津、无锡、武汉分别设有分公司，并在天津、深圳、四川等多地设有技术支持服务中心。为了深入了解菲莱测试在光传感方面的业务布局及进展情况，麦姆斯咨询近期采访了菲莱测试研发总监张文修。

麦姆斯咨询：首先，请您先自我介绍一下吧，包括从业经历及目前公司职责。菲莱测试核心团队情况也请概述。

张文修：大家好，我是菲莱测试张文修，在光通信行业10余年的工作过程中，先后从事过工艺开发、测试研发以及设备开发工作，目前负责菲莱测试设备类产品的研发工作。菲莱测试核心技术团队均来自于国内外半导体行业知名企业，在设备领域有丰富的从业经验，并长期从事该领域相关工艺、测试及可靠性研究，对芯片生产制造工艺和可靠性测试有深刻理解。

麦姆斯咨询：接着，请介绍菲莱测试的发展历程，包括重要的里程碑事件。

张文修：菲莱测试2018年5月份成立于上海，同年11月份成为国内光电龙头企业的合格供应商，2019年底销售额突破1亿元大关，同时成立了菲光芯片代工事业部。2020年和2021年分别完成了A轮和B轮融资，员工超过200人。

麦姆斯咨询：菲莱测试的业务模式多种多样，包括测试服务、代工服务、设备供应等，请您展开介绍一下。

张文修：是的，菲莱测试的产品布局几乎涵盖了光通信领域的所有可靠性测试设备，借助于自身的设备优势，公司在2019年和2020年陆续投入超过5000万资金，分别在无锡和武汉成立了无锡菲光科技有限公司（简称：无锡菲光）和武汉菲光科技有限公司（简称：武汉菲光），专注于为光芯片客户提供测试服务和代工业务。如下是菲光科技已经成熟的业务版图：

菲光科技业务版图

麦姆斯咨询：菲莱测试掌握了哪些光芯片测试方面核心技术？

张文修：菲莱测试团队凭借对芯片生产制造工艺和可靠性测试的深刻理解，先后开发了多款用于芯片老化测试方面的核心设备，详见下图：

菲莱测试相关设备

麦姆斯咨询：菲莱测试的设备可以提供从晶圆到模组的全系列测试及代工服务，针对光传感VCSEL方向，具体有哪些规划和发展？典型客户有哪些？

张文修：菲莱测试从2018年创业伊始就专门成立VCSEL老化测试设备开发团队。2018年底，在国内率先推出了VCSEL芯片级老化测试整体解决方案，2019年上半年又推出了晶圆级LIV、NF、FF一整套测试解决方案。目前在VCSEL领域的设备装机量已超过60台。消费级的VCSEL从晶圆测试到可靠性实验全系列产品线在2019年底已经成熟。车载VCSEL芯片的晶圆级别100 ns窄脉冲测试设备在2022年底已经发布，10 ns以内的可靠性设备正在开发中，预计在2023年底之前发布。

深耕VCSEL领域多年，菲莱测试的客户群体覆盖了绝大多数国内VCSEL芯片设计公司和代工企业，禾赛科技、纵慧芯光、三安光电、长光华芯等都是我们的重点客户。

麦姆斯咨询：从消费电子到汽车电子，不同的光传感应用对VCSEL测试的要求有何主要差异？

张文修：主要差异在测试条件上，消费电子VCSEL在10 us ~ 3 ms的脉冲测试基本能覆盖所有产品，但车载激光雷达（LiDAR）VCSEL的测试基本要在100 ns以下的窄脉冲进行测试，甚至在不同的芯片形态下要做到几个ns的量级。最主要的原因是车载芯片对功率密度要求较高，VCSEL芯片从5结、6结逐步在往更高结数演进，更窄的脉冲能将芯片的结温保持在合理的水平。

麦姆斯咨询：面向汽车类激光雷达，VCSEL可靠性测试方面有哪些挑战？

张文修：可靠性测试主要是通过对芯片的加速老化来发现在设计和制造过程中的缺陷。这里分老化和测试两部分，老化设备提供加速老化条件使产品老化，测试设备尽可能还原产品的真实使用工况，来获取产品的性能参数，以反映经过老化后的性能变化。这两种设备均需用到窄脉冲条件，窄脉冲的产生和驱动源以及驱动链路的感抗有极大的关系，所以可靠性测试方面都会面临驱动源的设计和测试链路布局的挑战，需要进行大量的仿真和实验迭代验证。

麦姆斯咨询：汽车类激光雷达应用的VCSEL测试方面，产业链对测试项目、测试标准是否已有统一认知或者达成共识？请谈谈您的理解和看法。

张文修：激光雷达VCSEL在产品形态上和消费级VCSEL基本相同，测试项目包含光电性能测试（LIV测试、光谱测试）和光斑质量测试（远近场测试），测试项目中包含的参数计算方法，ISO标准里也有对应的要求，业内已经基本达成共识。但由于VCSEL在激光雷达上的应用时间比较短，应用的条件和环境在变化，需求也在不断变化，尚未有统一的测试标准。

麦姆斯咨询：近些年，VCSEL技术发展迅速，新的测试需求不断涌现，菲莱测试针对极窄脉冲的LIV测试及多结、可寻址VCSEL测试方面有何进展？

张文修：菲莱测试LiDAR VCSEL窄脉冲驱动设备在2022年底已经发布，支持多结产品50 A/60 V/100 ns的窄脉冲测试。多分区和可寻址VCSEL的测试，在今年7月底也已经完成，已经在无锡菲光实验室接受客户的打样测试，欢迎前来沟通。

LiDAR VCSEL窄脉冲量产型晶圆测试台

麦姆斯咨询：针对汽车类激光雷达厂商，例如禾赛科技、速腾聚创等，菲莱测试提供哪些服务？

张文修：禾赛科技现场有多台菲莱测试的设备在使用中，也有一些可靠性代工、测试、分选代工服务与无锡菲光合作，由于和客户之间有保密协议，细节方面不方便透露。

麦姆斯咨询：入局光芯片测试行业多年，给您的最深感受是什么？

张文修：光芯片的迭代速度很快。从40 G到400 G的发展只用了几年的时间，从指纹解锁、扫码支付到现在的人脸识别的普及也只用了短短两三年时间，这在很大程度上改变了人们的生活质量和生活方式。

国内光芯片可靠性测试设备起步较晚，但现在迎着中国制造和中国创造的东风，借助行业基金的扶持和产业链上下游的相濡以沫，也正在迅速崛起。国产设备的质量、性价比以及后期的服务优势也日益彰显。随着国内光芯片、光模块企业蓬勃发展，国内产业链逐渐完善，全球的重心已在向中国倾斜，这给该行业的从业人员和相关企业带来了比较好的机遇。我为自己和公司能身处这个行业而感到荣幸！

麦姆斯咨询：您如何看待国内企业在光传感测试方面的竞争力？处于何种国际水平？

张文修：光传感测试范围比较大，就谈谈我对VCSEL传感测试方面浅显的认知吧。VCSEL在传感方面大规模的应用应该是从苹果手机的人脸解锁功能兴起的，那时国内该行业处于起步阶段，对于芯片的制造、测试的认知还不完善，测试设备的选择也大多优先考虑大陆以外的公司。菲莱测试成立之前创始人团队在谋划产品路线时，VCSEL可靠性测试便是其中之一，但同时也深知国内行业阶段和技术门槛的机遇与挑战。

菲莱测试成立之后，即着手VCSEL测试设备的开发，经过5年的付出和积累，在VCSEL可靠性测试方面做到了国内领先，可以说菲莱测试VCSEL产品线的成长是随着国内VCSEL行业一同成长起来的。国内VCSEL产业蓬勃发展的这几年，从业人员急剧增加，国内测试设备的参与者也越来越多，VCSEL的应用方案更是层出不穷，对于设备的功能需求也更加多样化，菲莱测试以及国内友商坚持做好设备基本功能之外，还匹配了多样化的需求。我认为，国内企业当前在VCSEL测试方面的竞争力已经赶上甚至超过国际平均水平。

麦姆斯咨询：近期，菲莱测试是否有融资计划？如果有，请阐述融资金额及用途。

张文修：可能有，目前公司还在内部讨论中。

麦姆斯咨询：2023年9月，您将参加『第34届“微言大义”研讨会：3D视觉技术及应用』并发表题为“VCSEL芯片测试及可靠性技术新挑战——针对激光雷达应用“的演讲，在此可以先透露一些信息吗？

张文修：我将介绍菲莱测试在VCSEL测试领域的一些新突破，不过暂时在此卖个关子，如果有对VCSEL测试方面感兴趣的同仁欢迎来现场聆听与交流，肯定不会让大家失望。