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表面粗糙度测量方案

中图仪器 2022-11-16 09:16 次阅读

表面粗糙度您了解多少?表面粗糙度,是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度,其两波峰或两波谷之间的距离(波距)很小(在1mm以下),它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小,则表面越光滑。

表面粗糙度的评定方法

1.二维粗糙度评定

在常规工业加工领域中,Ra是常用的表面粗糙度评定参数,其定义为在取样长度L内,轮廓偏距的绝对值的算术平均值。

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2.三维粗糙度评定

随着工业制造越来越精密化,特别是半导体和3C电子行业,传统的粗糙度评定为二维参数评定,评定的时候在一条线上进行评定,不能够完整地反映整个表面的全部信息,无法满足行业发展需求。

表面形貌的三维评定方法是利用区域表面获得所需要的相关信息,给出表面形成机理信息和研究表面的直观图像,三维评定从整体上对零件表面特征进行描述,具有全局性。Sa为常用的三维表面粗糙度评定参数。

Sa为表面算术平均高度,指轮廓表面内的点与中心面距离的算术平均或几何平均值,在取样区域D上,被测量的轮廓面和建立的基准面之间的z坐标距离的算术平均,即表面粗糙度曲面方程z坐标绝对值的算术平均,数学表达式如下。

pYYBAGMivP-AeHwbAAAX6jSVW3U119.pngpYYBAGLnSm6AeyeJAACPieshLt8756.png

表面粗糙度测量方案

中图仪器拥有丰富多样的粗糙度测量解决方案,可满足各行业测量需求。

1、SJ5760-R大量程粗糙度测量仪

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SJ5760-R大量程粗糙度测量仪Z0轴行程±20µm~±400µm,粗糙度测量范围Ra0.1μm~Ra64μm,可进行R参数、P参数、W参数、Motif参数等多种参数评定,应用非常广泛。

poYBAGMivTqAeiNpAABsAH6Yg3A053.pngpoYBAGMivUWAXIvCAACK6cPTVIg578.pngSJ5760-R用于轴承钢球的表面粗糙度测量

2、SJ5730高精度粗糙度轮廓测量仪

SJ5730高精度粗糙度轮廓测量仪一次测量可同时评定粗糙度及轮廓参数,具有14mm大量程粗糙度测量范围,分辨率高达到次纳米级,系统残余误差极小(<2nm),非常适合测量大曲面(轴承、关节、精密模具、齿轮、叶片、非球面)的超高精度表面粗糙度及微观Pt轮廓。

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poYBAGLnSoOAehl7AALj--Pp68s572.pngpoYBAGMivWyAUoMrAAB56f834K0937.pngSJ5730用于圆锥滚子轴承表面微观轮廓Pt及粗糙度测量

3、SuperView W1光学3D表面轮廓仪

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SuperView W1光学3D表面轮廓仪,以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造等领域,可测从纳米到微米级别工件的粗糙度。

poYBAGLnSqmAaPHwAADDXrKK4cI429.png硅晶圆粗糙度测量pYYBAGLnSqmAPcPQAAa-qYkiwt0827.png蓝宝石粗糙度测量

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