宽禁带材料是指禁带宽度大于 2.3eV 的半导体材料,以Ⅲ-Ⅴ族材料等最为常见,典型代表有碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN),这些半导体材料也称为第三代半导体材料。
宽禁带半导体材料适合于制作抗辐射、高频、大功率和高密度集成的电子器件,正在成为固态光源和电力电子、微波射频器件的重要材料,在半导体照明、新一代移动通信、智能电网、高速轨道交通、新能源汽车、消费类电子等领域具有广阔的应用前景。
宽禁带半导体材料的表征,以载流子浓度及载流子迁移率为主,此外, 电阻率测试也很重要。
宽禁带半导体材料测试难点在于
■宽禁半导体带材料的带隙较大,击穿电场较高。需要上千伏高压进行测试。
■宽禁带半导体材料是高流器件的制备材料,需要用到几十安培的高流进行测试。
■四线法及霍尔效应测试均是加流测压的过程,需要设备能输出电流并且测试电压。
■电阻率及电子迁移率通常范围较大,需要电流电压范围都很大的设备。
■电流源和电压表精度要高,保证测试的准确性。
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讲师介绍
林彩霞
泰克资深现场应用工程师
主要负责华东区域的技术支持工作。多年以来一直在从事测试测量相关工作,积累了丰富的测试经验。目前主攻方向包括低电平信号测试、射频/射频元器件测试以及宽带信号产生与分析、信号完整性测试、自动化测试系统等。
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原文标题:直播回顾 | 宽禁带半导体材料及功率半导体器件测试
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