蔡司三坐标SPECTRUM型号是ZEISS目前高性价比机型,与蔡司其它机型一样具有布局全球的销售和服务。以下是三本精密仪器讲解的几个硬件是蔡司三坐标SPECTRUM6大硬件优势。
1/横梁陶瓷,膨胀系数小,对温度变化不敏感,更易保持测量机的精度。
2/光栅尺,玻璃陶瓷光栅尺,温度膨胀系数接近于零(0.2-0.4um/度/米)玻璃陶瓷光栅尺由于膨胀系数接近于零,不需要温度补偿,稳定性更强。
3/光栅尺的安装方式由于导轨和桥架的温度膨胀无法被完全消除,将光栅尺悬浮安装在一层硅油上,一端固定、一端自由。
蔡司三坐标4/导轨,各个导轨均采用四面环抱的气浮轴承,保证机器运行的稳定和精度,不会增加任何径跳动和角摆误差。
5/测座配置RDS-C5:全自动旋转测座,在X-Y平面和Z向均可实现3600旋转,步距角为50,空间旋转位置可达5184个;集成的RDS-CAA技术只需通过12个角度位置的校准就可用于其它所有角度的测量。
6/探头配置,ZEISS VAST XXT:蔡司自主研发制造的接触式扫描探头,测力连续可调;验收时探针长度为50mm,探针直径为3mm。
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