深圳首条MEMS中试线落地曝光！华为、华大基因等巨头入局？

近日，中国&全球领先的MEMS芯片代工企业赛微电子发布公告，其与深重投集团关联体等成立的合资公司已注册成立，该公司将建设、运营深圳首条MEMS中试线。

同时，据公告显示，深圳首条MEMS中试线具体位置已经落定，近期将可动工建设。据相关信息透露，该产线背后股东有华大、华为等产业巨头身影。深圳首条MEMS中试线落地哪里？有什么流片政策？为什么MEMS中试线对地区传感器产业发展这么重要？下文揭秘。

深圳MEMS中试线最早在2022年11月举行的深圳首届传感器与应用技术大会上有消息披露，今年11月11-12日，第二届传感器与应用技术大会举行，将有更多中国传感行业前沿信息分享，详情参看《第二届传感器与应用技术大会11月11日深圳开幕》

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深圳特区首条MEMS中试线落地曝光！中国&全球第一MEMS代工厂主导建设！华为、华大入局?

11月2日，中国&全球领先的MEMS芯片代工企业北京赛微电子发布公告称，其旗下全资子公司赛莱克斯国际拟与深圳市重大产业投资集团有限公司关联主体、远致星火、华大松禾、科莱恩特、赛莱创晶签署《投资合同》，共同出资设立赛莱克斯微系统科技（深圳）有限公司（简称“赛莱克斯深圳”），已经完成登记注册。

赛莱克斯深圳将是深圳市智能传感器MEMS中试平台项目的建设和运营主体，该项目也将是深圳特区首条MEMS中试线。

▲来源：赛微电子公告书

公告显示，赛莱克斯深圳的注册地址为“深圳市光明区凤凰街道东坑社区凤归路 3 号 2 栋一层”，该地址应为深圳首条MEMS中试线具体落地地点。

相关资料显示，凤归路3号2栋二层为今年4月份刚刚通线的基本半导体车规级碳化硅芯片产线项目，厂区面积13000平方米，主要产品为6英寸碳化硅MOSFET晶圆等，产线达产后每年可保障约50万辆新能源汽车的相关芯片需求。

深圳MEMS中试线计划于今年底前开始建设，利用已有厂房资源，将加快深圳MEMS中试线建设速度。

▲来源：百度地图

据此前资料显示，赛莱克斯深圳的注册资本为15亿元，其中赛莱克斯国际出资4.5亿元，持有30%股权；科莱恩特出资4.1亿元，持有27.334%股权；深重投集团关联主体出资3.6亿元，持有24%股权。此外，赛莱创晶、远致星火、华大松禾分别出资1.5亿元、9999万元、3000万元。

▲来源：赛微电子公告书

值得一提的是，华大松禾是华大科技与深圳国资等共同设立，华大科技旗下的华大基因是全球最大基因测序企业，基因测序中使用的微流控芯片基于MEMS技术制造，微流控芯片又称芯片实验室（lab-on-a-chip），是当代极为重要的新兴科学技术平台。

据网易财经公众号援引海报新闻报道，远致星火是华为通过旗下哈勃投资与产发集团、深圳资本合作设立的股权投资基金。

▲来源：网易财经

据赛微电子2023年第三季度财报显示，第三季度赛微电子在BAW滤波器、MEMS振镜、MEMS加速度计等多种关键MEMS器件方面实现量产，对第三季度营收情况具有重大利好。BAW滤波器是5G/6G通讯关键部件。

第三季度赛微电子营业收入5.13亿元，同比增长188.36%；归属于上市公司股东的净利润3969.72万元，同比增长693.21%。

总投资多少？产量多少？有什么工艺？流片有什么补贴？还有什么优惠政策？

据此前2022年11月举行的中国传感器与应用技术大会暨光明专项招商大会上，首次有消息确认，总投资额约15.33亿元的大湾区MEMS中试线项目将落户深圳光明区，并计划于2025年建设完成，该投资金额与赛莱克斯深圳注册资金数吻合：

据悉，该项目规划建设一条约产能3000片晶圆/月的8吋MEMS中试线，并具备热电堆、MEMS压力、MEMS麦克风、MEMS惯性传感、微流控和微振镜等工艺平台，以帮助相关中小企业实现从MEMS工艺研发、中试到小规模量产的无缝对接，降低初创公司的创业风险和资金压力，加速成果产业化进程，助力形成企业聚集效应。同时，总规模50亿元的智能传感器产业基金也将落地光明。

自2020年以来，广东省及深圳市省市政府推出了鼓励智能传感器产业发展的多项重要政策，向产业释放中国经济领头羊扶持国产传感器产业的决心，这些政策包括：《广东省人民政府关于培育发展战略性支柱产业集群和战略性新兴产业集群的意见》、《深圳市人民政府办公厅印发关于加快集成电路产业发展若干措施的通知》、《深圳市人民政府关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》、《深圳市培育发展智能传感器产业集群行动计划（2022—2025 年）》等。

深圳对智能传感器产业空间布局，重点落在了南山、龙华和光明这三区。其中，南山区的定位重点放在了“产学研”；龙华的定位是“3C应用示范”；而光明区任务最重，肩负建设MEMS中试线、智能传感器产业园等任务。

此外，总规模50亿元的智能传感器产业基金，也已在2022年12底落地光明区，光明区成为深圳市重点打造的智能传感器产业高地。因此，对深圳粤港澳大湾区MEMS中试线的产业政策，均由光明区落地。

据2023 年3 月25日光明区政府发布的《深圳市光明区关于支持智能传感器产业集群高质量发展的若干措施》（下文简称《措施》）文件显示，重点鼓励传感器企业利用光明区MEMS中试平台流片，将对企业在该中试线首次流片费用的60%给予补贴，单个企业年度最高补贴不超过600万，相比企业在外地流片补贴力度增加了一倍：

第八条 支持企业首轮流片。支持智能传感器企业开展高端智能传感器首轮流片，按照工程产品首轮流片费用（含IP授权或购置、掩模版制作、流片等）的30%给予补贴，单个企业年度最高补贴不超过 300 万元。鼓励企业利用光明区MEMS中试平台流片，按首次流片费用的 60%给予补贴，单个企业年度最高补贴不超过 600 万元。

《措施》在第四条“支持建设智能传感器MEMS 中试线”，提到：

第四条 支持建设智能传感器MEMS 中试线。支持引进国内外一流 MEMS 晶圆制造产线建设运营机构，在光明区建设一条兼具研发中试和量产能力的亚微米级8 英寸MEMS 中试线，重点推动深硅刻蚀、薄膜沉积、薄膜应力控制等核心制造工艺升级，形成标准工艺设计工具包（PDK），面向市内外有关企业提供研发中试和批量代工服务。对项目涉及的相关主体采取“一事一议”方式予以支持。

显然，文中提到的引进“国内外一流MEMS晶圆产线建设运营机构”已经可以明确是赛微电子。

深圳MEMS中试线制程为亚微米级（100nm-1um），将着力于推动深硅刻蚀、薄膜沉积、薄膜应力控制等核心制造工艺升级，并形成标准工艺设计工具包（PDK）。

除建设MEMS中试线外，《措施》中提到依托MEMS中试平台，鼓励国家级 MEMS 封测龙头企业建设智能传感器先进封测服务平台：

第五条 支持建设 MEMS 先进封测公共服务平台。依托MEMS中试平台，鼓励国家级 MEMS 封测龙头企业建设智能传感器先进封测服务平台，鼓励区内相关企业利用自有封测产线承接封测服务平台服务需求，共同为企业提供封装方案设计与仿真、封装组装、测试包装等工艺定制化开发和产品封装代工服务，满足不同类别、不同原理的传感器测试需求。对建设先进封测服务平台，按照项目实际投资的 40%，给予最高不超过1000 万元补贴。对企业将自建封测线对外开放，配合区级智能传感器先进封测服务平台承接封测服务的，按服务合同额的10%，给予每年最高200万元补贴。

《措施》提到支持建设技术协同平台，最高补贴1000万元：

第六条 支持建设技术协同平台。鼓励建设数字化、国际化、标准化的技术协同平台，提供案例发布、供需对接、技术交流等创新体验，推动实现消费电子、汽车电子、智能制造等应用领域与智能传感器技术产品双向匹配。遴选世界领先的智能传感器技术协同平台，对入选平台分 3 期给予建设补贴，最高补贴1000万元。支持区内企业上平台开拓市场，提升国际知名度和影响力，对使用区级智能传感器技术协同平台服务的企业，按照平台当年度收取服务费用的 50%给予一次性补贴，最高补贴20万元。

此前已经落地的50 亿元人民币的智能传感器产业发展基金，《措施》中也明确提到了其用途，将主要用于股权投资和招商引资，并且以IDM企业为主：

第七条 开展精准靶向招商。设立规模不少于50 亿元人民币的智能传感器产业发展基金，开展股权投资，强化招商引资。瞄准智能传感器行业领军企业，引进国际领先的消费、汽车、工业智能传感器整合元件制造商（IDM）落地。对经认定的重大项目落地建设予以支持，按项目实际投资额的20%，给予最高不超过5000 万元奖励。

除上述重大项目外，《措施》中对关键合计技术攻关、企业并购重组、企业建设先进封测产线、企业建设智能传感器专业园区等等均有扶持措施。《深圳市光明区关于支持智能传感器产业集群高质量发展的若干措施》原文可在深圳市光明区政府官网查看，或在传感器专家网公众号对话框回复关键词【资料下载】，在资料下载页面搜索找到对应文档即可下载。

为什么MEMS中试线对一个城市的传感器产业发展这么重要？

1、挣脱卡脖子困境，带动地区传感产业升级 高科技产业，技术为本。在一颗MEMS传感器中，什么最重要？MEMS传感器核心为MEMS芯片——用来感知信号，以及ASIC芯片——用来处理信号，其中MEMS芯片是技术含量最高的部件。

▲MEMS声学传感器构造图（来自歌尔微招股书） 当前，中国绝大部分本土MEMS企业，采购海外传感器企业设计好的芯片以及与传感器配套的其他芯片如ASIC信号调理电路芯片，自行或委托代工厂完成传感器的封装和测试，再将传感器成品销售给下游终端客户。 未来，受国外技术进口、国内市场倒逼以及下游封装市场等因素的影响，中国本土企业自主化能力提高，大部分中国MEMS企业将向Fabless模式演变，MEMS研发中试线平台将能有力帮助这些企业提高自主设计能力。 随着本土传感器企业成为具备芯片设计能力的Fabless公司，中国传感器产业整体水平将能得到巨大提升，也能倒逼国内MEMS产线扩张，去除芯片“卡脖子”的隐忧。 因为MEMS传感器的瓶颈不在于先进的晶圆制造设备，而在生产工艺、技术的调校上，MEMS中试线将能加快企业芯片设计和工艺研发进展。

2、极大降低传感器企业的研发成本 MEMS智能传感器产业与其他高新科技产业一样，是一个技术、人才、资金密集的产业。 如下图所示，智能传感器产业链非常长，涉及数十个环节，产业链的每个环节投入都较大，单一企业很难独自承受产业链所有环节所需要的技术知识、人力成本及设备投入，且只有每个环节的产量足够大，才能覆盖其综合成本，因而，智能传感产业发展呈现出专业化、规模化和智能化的特点，即每个环节都可成为一家独立的公司参与到产业链的生态发展，而生产制造环节是所有环节中投入最大的部分。

▲来源：深圳市MEMS产业发展白皮书 据中原智能传感研究院执行院长李扬介绍：

以MEMS中试线和量产代工线投资为例，一条8吋的MEMS中试线，以月产能3000-5000片为例，总投资在10亿以上。包括厂房建设、超净间建设、危废处理等附属设施、设备等，其中设备的投资占50%。每年的运维费用，超净间维护费用在4000万左右，其中电费占50%，因半导体设备的高精度和高可靠性要求，需长时间保持运转或待机状态。以赛微电子亦庄8吋线为例，规划月产能3万片，一期建设产能1万片/月，建设投资25.9亿，且后续还需要持续的投入研发。行业的资金投入程度可见一斑。

同时，MEMS传感器芯片与一般芯片不一样的是，其工艺制造和调校更复杂，需要更多的与MEMS产线精密结合的工作，其研发流片过程更长、更久，一般企业无法承受如此昂贵的研发成本。 通过建设MEMS研发中试平台，打造共享研发中心，为传感器企业提供传感器芯片流片服务、封装服务和测试服务，将能极大降低传感器企业的研发成本，提高企业市场存活力和竞争力。

3、地区传感器产业高质量发展的核心 粤港澳大湾区打造智能传感器产业，要建MEMS产线/中试线；郑州传感谷、蚌埠传感谷，同样要建MEMS中试线；老牌智能传感器产业园，几乎都有MEMS产线/中试线作为底子。 可见，要打造智能传感器产业园，地区要发展智能传感器产业，建设MEMS中试线已成为共识。为什么要建MEMS产线/中试线？因为这是地区传感器产业高质量发展的核心、主心骨。 这里有两个例子：

苏州纳米城提前布局，自2014年MEMSRIGHT的中试线贯通后，借助苏州纳米所的研发基础，围绕MEMSRIGHT中试线，构造了“纳米技术应用产业生态圈”，经过8年多的发展，截至2021年9月累计建成载体近50万平方米，集聚各级领军人才超250人，入驻企业和科研机构超400家，其中科创板上市企业2家（其中不乏敏芯微这样的独角兽企业），国家高新技术企业近90家，中科院兰化所苏州研究院等中科院下属机构5家，苏州剑桥等4个国外纳米创新中心，已经成为国内发展最好的传感产业园区。

相反的是，常州2015年就提出打造“中国国际传感谷”，建设传感小镇，但由于常州并没有建设支撑MEMS传感器发展的核心研发中试平台，而成为一个普通的招商产业园，现在已经鲜为人知了。

一个地区的传感器产业，没有建设好MEMS研发中试平台，就很难发展核心技术，开发特色工艺，不断孵化创新性企业，吸引产业上下游聚集，形成产业链。 结语：中国传感器产业升级前夕 深圳粤港澳大湾区MEMS中试线的建设脚步加快，背后更有多家巨头参与。 而在不久前的9月20日，广州增芯科技传感器MEMS量产线项目主体封顶，国内首条MEMS 12英寸晶圆量产线的建设将进入下一个阶段。 随着广东省这两条具有标志性意义的MEMS产线逐步落地，粤港澳大湾区智能传感器产业有望迎来爆发，并促进本土智能传感器企业的升级。 除广州、深圳外，蚌埠重庆合肥郑州嘉定绍兴等等地区的智能传感器产业园、传感谷，都将迎来一大波MEMS产线/中试线的新建、扩建浪潮。 在坚实的国产MEMS晶圆产线的支撑下，未来将有更多采购封装的组装厂模式的国产传感器企业，实现MEMS芯片设计等自主技术的提升，这才能摆脱中国传感产业被卡脖子的困境！ 审核编辑 黄宇