N56系列直线压电马达是采用压电微驱动技术,即利用压电微位移致动器实现高精度定位和运动的技术,将压电陶瓷在一定电场作用下的微变形量,经过结构转换,输出宏动直线毫米级行程。
直线压电马达原理
N56系列压电马达具有小体积、高精度、大行程等优势。它的行程可达50mm,速度可达3mm/s,分辨率可达0.05μm,具有断电自锁功能。可选配光栅传感器作为闭环控制传感器,完成高精度定位。该系列还具有适用于在真空环境中使用的真空版本。同时,芯明天还可提供定制服务,以满足各类行程、精度要求。
运动效果图
N56系列压电马达特点
1.行程可选10mm、20mm、30mm、50mm
2.断电自锁
3.可选1至6维运动版本
4.可选真空版本,可选10^-6或10^-9mbar版本
产品应用
N56系列直线压电马达可广泛应用在小负载、大行程纳米定位、科学研究、光纤对接、微细加工、原子力显微镜、半导体的精密定位和微纳操作等领域。
技术参数
型号 | N56系列 |
运动自由度 | X |
选配传感器 | 光栅传感器 |
标称行程范围 | 10至50mm可选 |
速度 | 3mm/s |
开环分辨率 | 0.005μm |
闭环分辨率 | <1μm |
最大出力 | 3N |
闭环重复度 | 0.1μm |
推力(主动) | 3N |
保持力(断电自锁) | 4.5N |
负载能力(水平方向) | 0.5kg |
负载能力(任意方向) | 0.1kg |
轴向刚度 | 1.5N/μm |
侧向刚度 | 9N/μm |
工作温度 | 0~50℃ |
电缆长度 | 1.5m |
材质 | 铝,不锈钢 |
配套控制器
由芯明天研发生产的E53.D1E/C1K-J压电控制器非常适用于驱动N56系列压电马达,它是单通道压电控制器,尺寸仅105×103×30.1mm^3,采用数字控制,外观体积小巧,结构紧凑、易于集成。
审核编辑 黄宇
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压电马达
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