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N56系列直线压电马达,可选1至6维运动,行程可达50mm!

杨明远 来源:杨明远 作者:杨明远 2023-11-09 09:28 次阅读

N56系列直线压电马达是采用压电微驱动技术,即利用压电微位移致动器实现高精度定位和运动的技术,将压电陶瓷在一定电场作用下的微变形量,经过结构转换,输出宏动直线毫米级行程。

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直线压电马达原理

N56系列压电马达具有小体积、高精度、大行程等优势。它的行程可达50mm,速度可达3mm/s,分辨率可达0.05μm,具有断电自锁功能。可选配光栅传感器作为闭环控制传感器,完成高精度定位。该系列还具有适用于在真空环境中使用的真空版本。同时,芯明天还可提供定制服务,以满足各类行程、精度要求。

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运动效果图

N56系列压电马达特点

1.行程可选10mm、20mm、30mm、50mm

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2.断电自锁

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3.可选1至6维运动版本

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4.可选真空版本,可选10^-6或10^-9mbar版本

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产品应用

N56系列直线压电马达可广泛应用在小负载、大行程纳米定位、科学研究、光纤对接、微细加工、原子力显微镜、半导体的精密定位和微纳操作等领域。

技术参数

型号 N56系列
运动自由度 X
选配传感器 光栅传感器
标称行程范围 10至50mm可选
速度 3mm/s
开环分辨率 0.005μm
闭环分辨率 <1μm
最大出力 3N
闭环重复度 0.1μm
推力(主动) 3N
保持力(断电自锁) 4.5N
负载能力(水平方向) 0.5kg
负载能力(任意方向) 0.1kg
轴向刚度 1.5N/μm
侧向刚度 9N/μm
工作温度 0~50℃
电缆长度 1.5m
材质 铝,不锈钢

配套控制器

由芯明天研发生产的E53.D1E/C1K-J压电控制器非常适用于驱动N56系列压电马达,它是单通道压电控制器,尺寸仅105×103×30.1mm^3,采用数字控制,外观体积小巧,结构紧凑、易于集成。

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审核编辑 黄宇

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