0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

金属Cr详解

中科院半导体所 来源:Tom聊芯片智造 2023-11-20 17:07 次阅读

半导体制造领域中,金属铬(Cr)的作用不可或缺。从光刻过程中的掩膜制造到薄膜沉积技术,铬的应用贯穿了芯片的整个制造流程。Cr有哪些应用?有哪些优秀的性质呢?

金属Cr的性质

铬(Cr)是一种在元素周期表中位于第六副族的过渡金属。

=

物理性质

外观:铬是一种有光泽、银白色的金属。

密度:约为7.19g/cm3。

熔点:大约为1907°C。

沸点:约为2671°C。

硬度:铬是一种非常硬的金属。铬(Cr)>钛(Ti)>镍(Ni)>铜(Cu)

电导性:银(Ag)>铜(Cu)>铝(Al)>钨(W)>铬(Cr)>镍(Ni)

磁性:在室温下,无磁性。

化学性质

铬对氧化的抵抗性非常强,能够在表面形成一层稳定的氧化铬(Cr2O3),这层薄膜可以防止进一步的腐蚀。

金属Cr在半导体中的应用

掩膜版

在光刻过程中,铬被用作掩膜版的关键材料。铬在紫外光下表现出高光学密度,可以有效阻挡光线。在石英基板上通过PVD等方法均匀地沉积一层薄的铬,在其上涂覆一层光刻胶,再使用电子束光刻,显影,在光刻胶上做出预期的图形,之后进行Cr的刻蚀,最后去除光刻胶,即可得到掩膜版。

扩散阻挡层

在多层半导体结构中,不同材料层之间可能会发生原子扩散,特别是在高温加工过程中。铬作为扩散阻挡层,通常很薄,足以阻挡金属原子的扩散,防止金属离子污染硅基底或改变介电层的导电性。

导电层

铬由于其良好的导电性和稳定性,当在高温或需要黏附性较好的场景,通常可以选择镀Cr。

5d5665cc-8531-11ee-939d-92fbcf53809c.jpg

如何测量Cr薄膜的厚度?

椭偏仪

椭圆仪是一种非接触、非破坏性的测量技术,用于测量薄膜的厚度和光学性质的机台。一般常用来测量介质厚度或折射率,但是由于Cr的厚度较薄,一般在几十纳米左右,因此可以测量非常薄的Cr薄膜。

X射线荧光光谱(XRF

XRF技术的基本原理是通过射线激发样品中的原子,这些原子在返回基态时会发出特定能量的X射线荧光,这些荧光可以用来识别和定量样品中的元素。XRF是一种非接触、非破坏性的测量方法,适用于在线监控。

5d697338-8531-11ee-939d-92fbcf53809c.png

AFM

AFM不仅可以用来测量粗糙度,也可以用来测量高度差,一般情况下用来测粗糙度的场景更多。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 半导体
    +关注

    关注

    335

    文章

    27893

    浏览量

    224458
  • 光刻
    +关注

    关注

    8

    文章

    330

    浏览量

    30286
  • 金属
    +关注

    关注

    1

    文章

    612

    浏览量

    24387

原文标题:金属Cr详解

文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏

    相关推荐

    555金属探测器电路图大全(五款555金属探测器电路原理图详解

    本文主要介绍了555金属探测器电路图大全(五款555金属探测器电路原理图详解)。555构成的金属探测器电路图。该电路由振荡器,混频器和频率--电压转换器等组成。具有灵敏度高,显示直观等
    发表于 03-25 16:15 8.7w次阅读
    555<b class='flag-5'>金属</b>探测器电路图大全(五款555<b class='flag-5'>金属</b>探测器电路原理图<b class='flag-5'>详解</b>)

    脉冲金属探测器电路图大全(五款脉冲金属探测器电路原理图详解

    本文主要介绍了脉冲金属探测器电路图大全(五款脉冲金属探测器电路原理图详解)。采用锁相环IC的金属探测器电路,使用锁相环,灵敏度较高,探测距离可达75cm。其基本原理是锁相环IC中的VC
    发表于 03-25 16:31 9.9w次阅读
    脉冲<b class='flag-5'>金属</b>探测器电路图大全(五款脉冲<b class='flag-5'>金属</b>探测器电路原理图<b class='flag-5'>详解</b>)

    金属分析、成分分析、分析

    。牌号推荐可以为客户提供一定的应用参考信息。黑色金属分析可分析样品分析项目参考标准不锈钢材料元素分析(C/Si/Mn/P/S/Cr/Ni/Cu/Mo/Fe)牌号鉴定、牌号推荐GB/T
    发表于 08-31 09:46

    编程寄存器相关位详解

    的高速频率下。一,涉及编程寄存器相关位详解其中涉及到两个重要的时钟寄存器,时钟控制寄存器(RCC_CR),时钟配置寄存器(RCC_CFGR),RCC寄存器基地址为0x40021000二,源代码及...
    发表于 08-12 06:41

    DS90CR286A/DS90CR286AQ/DS90CR2

    The DS90CR286A receiver converts the four LVDS datastreams (Up to 1.848 Gbps throughput or 231
    发表于 10-14 09:26 13次下载

    CR6850C技术方案

    CR6850技术方案CR6850技术方案CR6850技术方案v
    发表于 11-10 17:21 22次下载

    cr技术及维护保养

    cr技术及维护保养
    发表于 03-19 11:45 3次下载

    CR系列接近开关参数及连接图

    CR系列电容式接近开关的特点:可检测铁,金属,塑料,木材,石材,水等、使用寿命长,高可靠性、直流型:内置浪涌保护,电源反接保护电路,交流型:内置浪涌保护电路、内置灵敏度调节电位器,方便调节检测距离、易于实现水平和位置控制。
    发表于 09-28 19:31 11次下载
    <b class='flag-5'>CR</b>系列接近开关参数及连接图

    金属卤化物灯怎么接线_金属卤化物灯接线图

    本文介绍了金属卤化物灯工作原理、金属卤化物灯不亮的解决办法和金属卤化物灯电压,最后详细介绍了380V金属卤化物灯和2200V金属卤化物灯接线
    发表于 01-19 15:02 3.9w次阅读

    CR750和CR751,CR760系列控制器的详细使用说明书免费下载

    本文档的主要内容详细介绍的是CR750和CR751,CR760系列控制器的详细使用说明书免费下载。
    发表于 08-09 08:00 35次下载
    <b class='flag-5'>CR</b>750和<b class='flag-5'>CR</b>751,<b class='flag-5'>CR</b>760系列控制器的详细使用说明书免费下载

    基于CR5159TN+CR85V25RS_27W电源适配器方案

    概述 之前我们介绍了基于思睿达主推CR5149TJ的18W电源适配器解决方案。在本文,我们将介绍基于思睿达主推的CR5159TN+CR85V25RS_27W电源适配器方案。 01、样机介绍 该
    的头像 发表于 01-06 10:44 2931次阅读
    基于<b class='flag-5'>CR5159TN+CR</b>85V25RS_27W电源适配器方案

    CR6863B_65W控制IC 可替 CR6889B

    CR6863B_65W控制IC可替CR6889B
    发表于 11-02 11:13 16次下载

    纽扣电池型号CR2025和CR2032有什么区别

    纽扣电池型号CR2025和CR2032有什么区别  CR2025和CR2032都属于纽扣电池,但它们在尺寸、容量和用途方面存在一些区别。本文将详细讨论这两种电池的区别。 首先,
    的头像 发表于 02-02 14:41 1.4w次阅读

    DS90CR216A,DS90CR286A,DS90CR286A-Q1接收器数据表

    电子发烧友网站提供《DS90CR216A,DS90CR286A,DS90CR286A-Q1接收器数据表.pdf》资料免费下载
    发表于 06-29 11:48 0次下载
    DS90<b class='flag-5'>CR</b>216A,DS90<b class='flag-5'>CR</b>286A,DS90<b class='flag-5'>CR</b>286A-Q1接收器数据表

    CR5241/CR5243/CR5244/CR5249-规格书

    CR524X是一款高性能的电流控制型PWM开关,全电压范围内待机功耗小于75mW,满足能效六标准。为了少特机功耗和提升效率,CR524X集成了多种工作模式。随着负载的变化,CR524X可以工作在三
    发表于 08-02 16:02 1次下载