雷尼绍XL-80激光干涉仪特性浅析及应用案例

一、校准是过程控制的基础

现代工业需要满足日益严格的公差、客户计划以及国际质量标准的要求。与此同时，还要承受降低成本的压力，因此生产设备的工作性能受到前所未有的重视。

二、激光干涉测量可提供最精确和可重复的校准方法

激光干涉测量

使用光的波长作为测量单位的基本原理在19世纪80年代左右开始提出。从那以后起，这一原理虽然历经发展和完善，但始终以测量光波干涉为依据，因此得名“干涉测量”。

激光系统射出的光波具有三种主要特性：

• 已知精确波长，可实现准确测量

• 波长非常短，可实现精确或高分辨率测量

• 所有光波相位相同，可根据已知的基准进行测量

干涉测量是一种相对运动测量（从初始位置开始测量），而不是一种绝对测量（从特定位置开始测量）。不同的光学镜组将激光光束穿过不同的路径，可从单个激光装置进行多种模式测量（例如，线性、角度、直线度）。

环境补偿

无论您的激光装置多么准确和稳定，激光的测量波长都会因其传播环境而改变。气温、气压和相对湿度的任何变化都将导致测量误差。

若没有可靠准确的波长补偿，即使在典型的环境条件下，也常常会出现20 ppm（百万分之一）的线性测量误差。通过应用精确的环境补偿，可将这些误差降至±0.5 ppm。

雷尼绍激光干涉仪

三、雷尼绍XL-80激光干涉仪助您提高企业效益

XL-80系统运行速度快、结果精确，而且非常轻便，因此它成为畅销的激光校准系统毫不为奇。XL-80采用先进的软件解决方案，具有优异的性能，可帮助您显著提高企业效益。

精度和动态性能：精确稳定的激光源和准确的环境补偿，保证了±0.5 ppm的线性测量精度。XL-80能够以高达50 kHz的频率读取数据，最高线性测量速度可达到4 m/s，即使在最高速度下线性分辨率仍可达到1 nm。所有测量选项（不只是线性）均采用干涉法测量，您可以对所记录数据的精度完全放心。

充满信心：优异的设计、质量和技术支持是雷尼绍的标志性特征。无论是微米级测量还是纳米级测量，先进的技术和产品质量保证都极为重要。标准的三年保修期和全球支持网络体现了我们对用户的承诺。

使用方便：XL-80的设定和使用快速简便，可减少等待时间并增加测量时间，同时仍具有纯粹干涉测量系统的高精度优点。激光干涉仪和补偿器均可通过USB与计算机连接，因此无需单独的接口，也不必担心复杂的设定。

便携性：XL-80激光和XC-80补偿器体积小巧，这意味着一整套线性测量系统可装在一个“便携箱”中，仅重12公斤。再加上一个三脚架（装在布质拉链便携箱中），您就拥有了一套真正便携的机器测量方案。

雷尼绍激光干涉仪

四、雷尼绍XL-80激光干涉仪特性与优点

激光稳频精度：通过热控制技术将激光管的长度变化控制在几纳米的范围内，使精度在3年内保持在±0.05 ppm（百万分之一）。

线性测量精度：在整个环境范围内，即在0 ºC - 40 ºC（32 ºF - 104 ºF）和650 mbar - 1150 mbar的范围内，精度为±0.5 ppm。XL-80能够以高达50 kHZ的频率读取数据，最高线性测量速度可达到4 m/s，即使在最高速度下线性分辨率仍可达到1 nm。

集成式USB：意味着激光系统与计算机之间无需单独的接口。

LED状态指示灯：位于激光头前部，可显示激光状态和信号强度，相当于将软件屏幕上的“状态显示”功能扩展到激光头上。

灵活切换：标准 (40 m)和长 (80 m)距离模式。

模拟I/O端口：许传输模拟信号输出和触发信号输入。

预热时间：少于6分钟。

外接开关电源：允许输入电压在90V - 264 V之间变化。

CARTO软件包：可以进行线性、角度、回转轴、直线度和垂直度测量。但其他测量模式则需要使用LaserXL软件。

四、雷尼绍XL-80激光干涉仪参数

雷尼绍激光干涉仪参数

五、雷尼绍XL-80激光干涉仪应用案例

石油与天然气开采设备的关键零部件制造靠的是测量校准系统的助力

行业：能源

挑战：检查和验证用于石油与天然气开采设备关键零部件制造的数控机床的尺寸精度。

解决方案：使用雷尼绍的激光校准和机床测头测量解决方案优化预防性维护过程。

雷尼绍激光干涉仪应用

雷尼绍机器校准方案缩短机床设定时间并提高回转轴精度

行业：精密制造

挑战：验证和提高回转轴的精度，主要是回转轴B的校准。

解决方案：使用雷尼绍XR20-W与XL-80激光干涉仪结合使用时，精度可高达±1角秒，

使用摆动轴转台测量软件，成功改进了回转轴B和C的技术规格。

雷尼绍激光干涉仪应用

全面提升定制化机床的质量管控效率

行业：精密制造

挑战：寻找能提升客制机床检测效率的解决方案。

解决方案：机床组装过程中，雷尼绍XL-80激光干涉仪用于检测机床的动态精度，整体检测效率提升，操作简单、便携性高。

雷尼绍激光干涉仪应用

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