上海微电子“投影物镜光学系统及***”专利公布

上海微电子装备（集团）股份有限公司11月28日公开了本公司最新的***相关专利。据天眼查显示，上海微电子公开的专利名称为“投影物镜光学系统及***”，申请号为cn117130226a。

该专利摘要显示，本发明提供了一种投影物镜光学系统及***，所述投影物镜光学系统沿其光轴方向从物面到像面依次包括：第一透镜组、第二透镜组、光阑、第三透镜组与第四透镜组。其中所述第三透镜组与所述第二透镜组关于所述光阑对称，所述第四透镜组与所述第一透镜组关于所述光阑对称，所述投影物镜光学系统是对称结构，且所述投影物镜光学系统中所有的透镜组均具有正光焦度，以此可以在提高成像质量的基础上，可以增加曝光系统的场地大小，提高生产效率。

上海微电子装备（集团）股份有限公司成立于2002年3月，由于法定代表人干频，经营范围包括含有半导体设备等的开发、设计、制造、销售及技术服务等是上海电气控股集团有限公司（42.3%）、上海科技创业投资有限公司（14.21%）等共同投资股份。