0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

ant rule(antenna rule)天线效应介绍

牛牛牛 来源:CSDN博主 作者:Edwin_sunny 2023-12-01 11:34 次阅读

等离子刻蚀时,暴露在离子束下的金属或poly会积累电荷(就像一根天线一样,收集电荷)而产生电势,积累的电荷与暴露在离子束下金属面积成正比;如果积累了足够电荷的一根长金属线或POLY直接连接到MOS管的GATE上时,就会放电,栅氧会被击穿,导致芯片失效。

在金属互连线的制造过程中会产生大量游离电荷,对于游离电荷来说,一边是二氧化硅绝缘体材料,一边是金属,自然会往金属上聚集,金属像海绵把周围的水吸收进来。当积累的电荷逐渐变多,电势变高,金属就会找地方放电,越长的金属容易收集到更多的电荷,更容易引起天线效应。

antenna ratio(天线比)定义为:构成所谓天线的导体面积与其相连的栅面积之比,比值越大天线效应越容易发生(这个值与工艺有关,常见为300:1),随着工艺尺寸越来越小,天线效应发生的可能越来越高;

消除天线效应的方法:就是要想办法减小antenna ratio;使直接连接到栅的导体面积变小;

1.跳线法

采用跳线法,断开存在天线效应的金属M1,一根长金属M1连接到GATE上,收集足够的电荷后,产生的电势超过栅氧承受的击穿电压后,栅氧被击穿

2. 添加天线器件

在存在天线效应的导体上添加反偏的二极管,为积累的电荷提供一个泄放回路,这样积累的电荷就不会对栅氧造成损坏,从而消除天线效应;

1653109198630125.png

3. 插入缓冲器Buffer

通过在直接连接到栅的导体上插入缓冲器来切断长线消除天线效应

1653109238463159.png

审核编辑:黄飞

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 二极管
    +关注

    关注

    147

    文章

    9630

    浏览量

    166319
  • 缓冲器
    +关注

    关注

    6

    文章

    1922

    浏览量

    45473
  • MOS管
    +关注

    关注

    108

    文章

    2411

    浏览量

    66764
  • 天线效应
    +关注

    关注

    0

    文章

    7

    浏览量

    8053
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    Design Rule设计规则是关系到一个PCB设计成败的关键

    在PCB设计中,Design Rule设计规则是关系到一个PCB设计成败的关键。所有设计师的意图,对于设计的功能体现都通过设计规则这个灵魂来驱动和实现。精巧细致的规则定义可以帮助设计师在PCB布局
    的头像 发表于 08-27 09:26 1.4w次阅读

    PSoC designer 5.4: no rule to make target如何解决?

    on Designer5.4CommonCypressSemiBuildMgrtoolsincludeCY8C21030 - 3 make: *** No rule to make target `E:Program\', needed by `lib/obj/csd.o\'. Stop.
    发表于 01-26 07:29

    rt-thread studio编译时出现make: No rule to make targe怎么解决?

    1.问题如下: rtthread出现 make: *** No rule to make target \'lv_port_disp.o\', needed by \'rtthread.elf
    发表于 03-22 08:18

    【提问】altium designer9运行designer rule check出错

    本帖最后由 gk320830 于 2015-3-4 16:37 编辑 我之前用的AltiumDesigner9绿色版的,然后删了绿色版又装了AD9安装版的,结果design rule
    发表于 11-12 12:26

    编译KeyStone1SelfTestKit中的例程的时候提示“gmake;***No rule to make target '

    编译KeyStone1SelfTestKit中的例程的时候提示“gmake;***No rule to make target 'D:/DSPworkspace/common/common_test.c',needed by `src/common_test.obj`”怎么解决
    发表于 06-21 01:14

    Hightec编译出错make: *** No rule to make target 'all'. Stop.

    make: *** No rule to make target 'all'.Stop.
    发表于 12-17 11:18

    PCB LAYOUT RULE

    PCB  LAYOUT  RULE
    发表于 05-27 10:57 0次下载

    LTCC Antenna LTCC 天线

    LTCC Antenna LTCC 天线Application 产品用途:ISM Band 2.45Ghz,WLAN,Bluetooth.Part Numbering 编码规则
    发表于 07-27 11:48 45次下载

    天线手册(Antenna Handbook)

    天线手册(Antenna Handbook) 天线基本概念 天线是FM DX的耳朵,微弱的电波从天线经过馈线进入接收机,才能让我们听到
    发表于 10-20 16:16 1877次阅读

    Altium-designer-rule规则模版说明

    Altium-designer-rule规则模版说明,感兴趣的小伙伴们可以瞧一瞧。
    发表于 09-14 17:57 0次下载

    Altium_designer_rule规则模版说明介绍

    Altium_designer_rule规则模版说明,很实用的资料,感兴趣的可以看看。
    发表于 09-19 16:57 0次下载

    版图学习笔记包括:Candence操作,DESIGN RULE ,,版图流程等

    本文档的主要内容详细介绍的是版图学习笔记包括:一.Candence 操作二.DESIGN RULE 三.各器件简述四.版图技巧五.布局布线六.版图流程七.ELLA 的心得
    发表于 06-15 08:00 0次下载
    版图学习笔记包括:Candence操作,DESIGN <b class='flag-5'>RULE</b> ,,版图流程等

    MISRA C Rule Checker SQMlint V.1.03 用户手册

    MISRA C Rule Checker SQMlint V.1.03 用户手册
    发表于 05-06 18:34 0次下载
    MISRA C <b class='flag-5'>Rule</b> Checker SQMlint V.1.03 用户手册

    MISRA C Rule Checker SQMlint V.1.03 用户手册

    MISRA C Rule Checker SQMlint V.1.03 用户手册
    发表于 06-26 20:20 0次下载
    MISRA C <b class='flag-5'>Rule</b> Checker SQMlint V.1.03 用户手册

    简单说一说什么是天线效应?消除的办法有哪些?

    天线效应,或者说它的全称工艺天线效应(PAE,process antenna effect),是一种芯片制造过程中产生的
    的头像 发表于 12-06 14:48 2039次阅读