光电探测器的性能指标

光电探测器的性能指标主要由量子效率、响应度、光电流，暗电流和噪声等指标组成：

1、量子效率：

2、响应度

定义为光电探测器产生光电流与入射光功率比，单位通常为 A/W。响应度与量子效率的大小有关，为量子效率的外在体现。响应度R：

3、暗电流和噪声

光电流指在入射光照射下光电探测器所产生的光生电流，暗电流可以定义为没有光入射的情况下探测器存在的漏电流。其大小影响着光接收机的灵敏度大小，是探测器的主要指标之一。

暗电流主要包括以下几种 ：

①耗尽区中边界的少子扩散电流;②载流子的产生-复合电流，通过在加工中消除硅材料的晶格缺陷，可以有效减小载流子的产生-复合电流;③表面泄漏电流，在制造工艺结束时，对芯片表面进行钝化处理，可以将表面漏电流降低。

当然，暗电流也受探测器工作温度和偏置电压的影响。 探测器的暗电流与噪声是分不开的 ，通常光电探测器的噪声主要分为暗电流噪声、散粒噪声和热噪声。

4、光功率与光子数的关系：