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Z向运动大承载压电扫描台 - P70.Z200系列

杨明远 来源:杨明远 作者:杨明远 2023-12-07 14:42 次阅读

P70.Z200系列压电扫描台是一款兼具小体积、大行程、大负载特点的Z向运动一维压电扫描台。它采用机构放大原理,无摩擦柔性铰链导向机构内置高可靠性压电陶瓷驱动,具有中心通孔设计,可带动物镜或样品实现纳米级精度的Z向升降运动,行程可达到200μm,承载可达500g。其内置传感器通过全桥方式连接,无漂移,可以实现在纳米范围内精确定位,闭环分辨率6nm,重复定位精度达0.02%F.S.。产品在显微成像、光学检测、生物科技、图像处理等领域广泛应用。

小体积中心通孔设计
P70.Z200系列压电扫描台体积非常小巧,且具有φ10mm的中心通孔设计,尺寸如下图所示。

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负载安装便捷
P70.Z200系列压电扫描台在中心部位配置负载螺纹孔,便于物镜或样品等负载的安装,最大承载可达500g。标准负载适配螺纹W0.8×1/36”,可根据用户不同需求定制螺纹尺寸。

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闭环快速阶跃
P70.Z200系列压电扫描台闭环空载阶跃时间为20ms,当带载200g阶跃时间可达30ms,响应速度快。

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典型应用举例

应用于笼式结构

芯明天研发生产的P70.Z200系列压电扫描台结构中配备了笼式结构安装通孔,可直接集成到笼式结构中。它可用于带载物镜,进行Z向直线运动的纳米级调整,精确的调整经物镜聚焦后的焦点与样品间的距离。

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显微成像

对于高分辨率显微成像技术而言,压电扫描台是其中不可缺少的一部分,它可以带载物镜或样品做Z向的聚焦或样品位置的调节,大幅提高成像的清晰度,其精度可达纳米级别。且压电扫描台由电信号控制,聚焦速度快,响应速度可达亚毫秒或毫秒量级。

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生物科技

随着生物医疗技术的快速发展,精密定位技术也在其领域中广泛应用。如染色体的切割、细胞分离、细胞融合、纳升配药、微流体等,其中定位部分可应用压电定位扫描台,可利用其超高的分辨率及定位精度和抗干扰能力,进行精确定位。

技术参数

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配套控制器
E53.D1S压电控制器非常适用于驱动P70.Z200系列压电扫描台,它是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的单通道压电陶瓷控制器。该控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力,通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性,可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频率响应速度。

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审核编辑 黄宇

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