0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

你知道什么是“启辉”吗?为什么会辉光放电吗?

中科院半导体所 来源:Tom聊芯片智造 2023-12-09 10:00 次阅读

芯片制程中,几乎所有的干法制程,如PVD,CVD,干法刻蚀等,都逃不过辉光放电现象。辉光放电,是一种在低压下电离气体的过程,它在半导体制程中的许多重要步骤中有着核心作用。那您知道什么是“启辉”吗?为什么会辉光放电吗?那我们就带着问题来解答。

什么是“启辉”********

干法制程会通入反应气体,并被施加一定的高频电压。当施加在低压气体上的电压超过其击穿电压时,气体中的原子或分子将被电离,形成正离子和电子。电子在电场的作用下加速,并与其他气体分子碰撞,产生更多的离子和电子,就会形成辉光放电等离子体。浸没在辉光放电等离子体中的晶圆受到电子和离子的轰击,导致表面原子的重新排列和溅射

wKgaomVzyrWAefdNAAD4pfib1FY200.jpg

当开始形成等离子体时,我们从机台外面可以看到工艺腔室中泛起了五颜六色的光晕,这个时候我们就会说“启辉”了。

启辉的颜色

启辉放电产生的光谱和颜色主要取决于电气体的种类和压力****,以及****放电的电压。每种元素和分子都有其特定的能级,当电子从高能级跃至低能级时,会发出特定波长的光。这就是为什么不同的气体会产生不同颜色的辉光。例如,氩气则通常会发出淡紫色的光,氮气放电会形成粉紫色光。

气体的压力和浓度也会影响放电颜色高压会导致更多的分子参与电离,放电颜色会更加亮丽。而在较低的压力下,由于电子和气体分子的碰撞几率降低,所产生的光辉会变得暗淡。电压的大小会影响电子的能量,从而影响放电的颜色。如果电压提高,电子的能量也会提高,电离的能级可能会变得更高,从而改变发出光的颜色。

干法机台如何利用启辉效应

在半导体制程中,一般用光谱分析来监控和分析辉光放电效应。光谱分析能够提供大量有关等离子体状态的信息,如离子和中性粒子的种类,粒子密度和能量等。些信息对于理解和优化启辉放电过程,调整工艺参数,以及保证工艺的重复性和稳定性是非常重要的。例如,光谱分析可以用于确定放电气体的种类和比例,监控化学反应的进行,以及检测可能存在的杂质等。

wKgZomVzyrWAbjxgAAFbKZLRkds664.jpg

另外,光谱分析还可以用于监控设备的状态。通过分析放电过程中的光谱变化,可以发现设备的故障,从而及时进行维护和修理,保证设备的稳定运行。

wKgZomVzyrWAEfGQAAIf9MvYlws757.jpg

一般来说,采用光谱分析的设备和工艺会比较复杂,需要较高的投入和运行成本。但在对工艺控制要求高的场合,例如在先进的半导体制程中,这种投入是非常必要的。






审核编辑:刘清

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 半导体
    +关注

    关注

    335

    文章

    27868

    浏览量

    224098
  • 光谱分析
    +关注

    关注

    0

    文章

    37

    浏览量

    10064

原文标题:干法制程中的辉光放电

文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏

    相关推荐

    空气放电与接触放电的对比解析

    空气放电与接触放电的对比解析在现代电子产品无处不在。从日常使用的智能手机、平板电脑,到工业领域的精密仪器,其稳定性和可靠性至关重要。而静电放电(ESD)作为影响电子产品性能的关键因素,可能
    的头像 发表于 02-10 16:28 264次阅读
    空气<b class='flag-5'>放电</b>与接触<b class='flag-5'>放电</b>的对比解析

    辉光电计划赴港IPO加速国际化

    近日,科创板上市公司和辉光电宣布了一项重要计划,即赴港交所上市发行H股。这一举措被视为公司加速国际化战略的重要一步,旨在提升海外融资能力,为未来的发展注入更多动力。
    的头像 发表于 01-22 15:56 192次阅读

    精彩回顾 : 向新而行 云未来——2024高云FPGA线上技术研讨

    向新而行 云未来 2024高云FPGA线上技术研讨 近日,由高云半导体主办的“ 向新而行 云未来——2024高云FPGA线上技术研讨”成功举办。 本次研讨会上,高云半导体市场总
    发表于 11-18 18:24 350次阅读
    精彩回顾 : 向新而行 云<b class='flag-5'>启</b>未来——2024高云FPGA线上技术研讨<b class='flag-5'>会</b>

    放电保护电压是什么意思

    放电保护电压是指在电池放电过程中,为避免电池过度放电而设置的一个最低电压值。当电池电压降至这个保护电压时,电池管理系统(Battery Management System,简称BMS)
    的头像 发表于 10-14 09:33 648次阅读

    电池放电保护电压降低吗

    切断电池的放电回路,以保护电池不受损害。电池放电保护电压的设置对于电池的使用寿命和安全性至关重要。 一、电池的化学性质 电池的化学性质是影响电池放电保护电压降低的主要因素之一。电池
    的头像 发表于 10-12 16:56 539次阅读

    放电失效保护电压怎么算

    时,保护电路启动,切断电源,防止设备进一步放电。 一、放电失效保护电压的基本概念 1.1 放电失效保护电压的定义 放电失效保护电压是指在电
    的头像 发表于 10-12 16:54 423次阅读

    安全升级,智未来!广东工业安全生产数智化转型闭门分享圆满举办

    。本次分享以“安全升级,智未来”为主题,来自应急管理局领导、行业专家、企业代表齐聚一堂,共同分享工业安全生产数智化转型的新思路、新路径、新方法,为广东高质量发展注入创新动力。   安全升级,智未来,助力产业高质
    的头像 发表于 08-28 14:54 340次阅读
    安全升级,智<b class='flag-5'>启</b>未来!广东工业安全生产数智化转型闭门分享<b class='flag-5'>会</b>圆满举办

    知道影响贴片电感发热的因素有哪些吗?

    知道影响贴片电感发热的因素有哪些吗?
    的头像 发表于 08-17 14:24 578次阅读
    <b class='flag-5'>你</b><b class='flag-5'>知道</b>影响贴片电感发热的因素有哪些吗?

    知道贴片电感故障时可能出现的症状吗?

    知道贴片电感故障时可能出现的症状吗?
    的头像 发表于 08-17 14:20 484次阅读
    <b class='flag-5'>你</b><b class='flag-5'>知道</b>贴片电感故障时可能出现的症状吗?

    知道共模电感用错了会有什么影响吗

    电子发烧友网站提供《知道共模电感用错了会有什么影响吗.docx》资料免费下载
    发表于 07-30 10:42 0次下载

    扬智能受邀参加2024恩智浦技术巡回研讨

    金牌合作伙伴,扬智能受邀出席本次研讨,与众多行业人士进行交流研讨以及分享方案应用。本次研讨会上,扬智能携IMX93开发板以及基于IMX8MPlus处理器设计开
    的头像 发表于 05-10 08:00 524次阅读
    <b class='flag-5'>启</b>扬智能受邀参加2024恩智浦技术巡回研讨<b class='flag-5'>会</b>

    关于静电放电知道的知识

    在整个半导体制造过程中,微粒污染、静电放电损坏以及与此相关联的设备停机,是静电带来的三大问题。
    的头像 发表于 03-27 11:12 889次阅读

    芯片设计企业芒微终止IPO

    深圳证券交易所(深交所)近日公告,芒微电子(深圳)股份有限公司(简称“芒微”)及其保荐人中信证券已主动申请撤回发行上市申请文件。根据相关规定,深交所决定终止对芒微首发并在创业板上市的审核。
    的头像 发表于 03-06 14:11 694次阅读

    知道激光钻孔技术有多牛吗?看完这篇文章就明白了

    知道激光钻孔技术有多牛吗?看完这篇文章就明白了
    的头像 发表于 02-29 17:09 1129次阅读

    电容6大特性参数,知道几个?

    硬件设计好不好,电容参数知多少? 原文整理自书籍《硬件设计指南》 电容是我们电子电路设计中最常用的元件之一,除了基本的电容容值之外,电容还有其他6大参数,知道几个呢?本文章介绍MLCC陶瓷电容6
    的头像 发表于 02-21 15:10 1349次阅读
    电容6大特性参数,<b class='flag-5'>你</b><b class='flag-5'>知道</b>几个?