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什么是PSPI?PSPI相较于非光敏性PI的优势?

中科院半导体所 来源:Tom聊芯片智造 2023-12-18 10:17 次阅读

PSPI(光敏性聚酰亚胺)是一种十分重要的半导体材料,也是一种十分被卡脖子的材料。

什么是PSPI?

PSPI,全称为“光敏性聚酰亚胺”(Photosensitive Polyimide),这种材料结合了聚酰亚胺(Polyimide,PI)的优良的物理和化学性能,以及光敏材料的特性。

PSPI类似于光刻胶,在紫外光、α射线、X射线等的辐射下,被照射部分的结构会发生变化,能够溶解在相应溶剂中,可以用于制作精密的图案。

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PI有什么优良特性?

介电特性好:介电常数通常在3.0到3.5之间,改良后可降至2.5;介电强度很高,通常在200至300 kV/mm之间;体积电阻率非常高,在10^16至10^18 Ω·cm之间;表面电阻率也非常高,通常在10^13至10^16 Ω范围内。PI在高电压和不同频率下具有优异的电气绝缘性,能有效地防止电流泄漏和电气击穿。

使用温度范围广:在极端的温度下(-269°C到+400°C之间)保持其物理性能.

热膨胀系数非常低:热膨胀系数大约在 20 到 50 ppm/°C。也就是说,在温度变化时体积变化很小。

机械性能优异:高强度;高韧性;抗冲击性能强;

化学稳定性好:能耐许多有机溶剂、酸、碱等

PSPI相较于非光敏性PI的优势?

大大简化了加工步骤,节约了成本。

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PSPI的工艺步骤

涂布 → 软烘 → 曝光 → 显影 → 固化

PI的工艺步骤

PI涂布 → 固化 → 光刻胶涂布 → 光刻胶软烘 → 光刻胶曝光 → 光刻胶显影 → 光刻胶后烘 → PI刻蚀 → 去除光刻胶

PSPI的结构?

主链:主链由重复的酰亚胺环构(-CO-NH-CO-)结构组成。

光敏基团:光敏基团是一些可以在特定波长的光照射下发生化学反应的官能团。光敏团的引入使得材料在光照下能够发生交联或分解,常见的PSPI光敏基团有:环氧基团,双键,偶氮化合物等。

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其他官能团:引入其他特殊官能团以改善其电学性能或可加工性。

PSPI的在半导体行业的应用?

半导体制造:PSPI可以作绝缘层和介电层,防止芯片中不同层之间的电气串扰;也可以用作保护层,比如在刻蚀或离子注入等工序程中,PSPI可以保护晶圆表面不受损害。

晶圆级封装:PSPI主要作为绝缘层,保护层,电镀线路的载体等。

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PCB板制造:通常作为Cu板的阻挡层,然后用药水对Cu板进行刻蚀;之后PSPI介质层与Cu板层压在一起。

PSPI的主要厂家?

相对于国际市场,国内的PSPI行业起步较晚。由于大陆生产较少且技术上的差距,产品多集中在中低端领域,国内市场在PSPI方面高度依赖进口。比较知名的PSPI公司有:HDM公司、东丽(Toray),富士胶片(Fujifilm),JSR,Merck等。






审核编辑:刘清

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原文标题:PSPI(光敏性聚酰亚胺)介绍

文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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