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基于面积效应优化的N79频段BAW射频滤波器设计

MEMS 来源:MEMS 2023-12-24 17:55 次阅读

随着无线通信网络的快速发展,智能通信设备、基站和卫星等需要更高工作频率、更大带宽的射频滤波器,体声波(BAW)射频滤波器具有频率高、机电有效耦合系数(kt²)大、品质因子(Q)高、体积小、CMOS工艺兼容的优秀特性,在无线通信领域中具有重要的应用。然而,当器件的工作频率达到4 GHz甚至5 GHz以上时,BAW滤波器所需的谐振器面积会由低频时的上万或数千µm²减小到数百µm²,导致其有效机电耦合系数(kt²)的降低,阻碍带宽的提升,也显著降低了功率容量。如何在小面积下提升带宽和功率容量,称为业界难题。

据麦姆斯咨询报道,近期,来自浙江大学与杭州树芯科技有限公司(简称:树芯科技)的董树荣、轩伟鹏团队的研究表明:有效机电耦合系数(kt²)随其面积减小而降低的同时,谐振器的串联与并联谐振频率也随其面积减小而变化,而且随着频率增加,这一变化更加显著,而通过优化面积可以显著改善kt²的降低,从而实现近15%的带宽增加。

研究人员基于此提出了一种体声波(BAW)谐振器的新Mason模型,增加了面积的影响,并利用Mason模型设计了高性能N79波段(4.8-4.96 GHz)谐振器和带宽240 MHz的滤波器。该滤波器最小插损−0.93 dB,带外抑制-25 dB的优异性能,同时也体现出优良的功率容量,在34 dBm的功率输入下,温度为90℃左右,仍然可以正常工作。该技术突破了高频BAW滤波器在现代无线通信的带宽难题和微基站的功率容量的应用瓶颈。相关研究成果2023年10月以“High-Performance N79 Band AlScN BAW Resonator and Filter With the Consideration of Area Effect”为题发表在IEEE Transactions on Electron Devices期刊上(DOI: 10.1109/TED.2023.3311773)。

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图1:面积效应对BAW谐振器性能的影响

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图2:实测BAW谐振器与滤波器性能

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图3:BAW滤波器不同射频输入功率下的红外热成像图

树芯科技依托于剑桥大学和浙江大学在射频MEMS器件领域近20年的技术积累,经由科研成果转化而来,在杭州设立有研发中心和月产1千片(8英寸晶圆)的产线,专注于高滚降SBAW及超大带宽的HiBAW滤波器的设计、制造与销售,可提供10 GHz频率以下的高性能滤波器产品、高频超宽带滤波器产品,曾获得浙江省科技进步二等奖和教育部二等奖等,产品获得多家智能通信设备头部企业测试认证,广泛应用于4G5GWi-Fi物联网模组等领域。

树芯科技产品如下:

(1)Wi-Fi 6E/7全频段滤波器,带宽为5.17-7.125 GHz,带内插损最小点为1.4 dB,左边带具有非常高的陡降特性,在5 GHz处可以达到30 dB的带外抑制,实现与5G N79频段的共存。这款滤波器的封装尺寸为1814和1411,可以有效减小使用面积。该款滤波器采用了树芯科技自主创新的HiBAW工艺技术,能够满足无线通信中对边带高陡降和通带大带宽的高要求。

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图4:Wi-Fi 6E/7全频段滤波器

(2)Wi-Fi 6E UNII 1-3频段滤波器,通带频率位5.15-5.85 GHz,具有优异的左边带陡降特性,在5GHz处达到30 dB的损耗,实现与5G N79频段的共存。

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图5:Wi-Fi 6E UNII 1-3频段滤波器

(3)N77全频段产品,通带覆盖3.3-4.2 GHz,具有优异的右边带陡降特性,可以实现5G N77和N79频段的共存,提升通信质量。

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图6:5G N77全频段滤波器







审核编辑:刘清

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原文标题:基于面积效应优化的N79频段BAW射频滤波器设计新方法

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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