文章来源:睐芯科技LightSense
原文作者:LIG
介绍了光波干涉的原理是什么,以及该原理可以应用于什么领域。
光波干涉在许多领域都有应用,例如:干涉仪器、干涉光栅等。而著名的干涉实验有:杨氏双狭缝实验和迈克尔逊干涉仪(Michelson interferometer)。这些实验和应用,有助于研究光波的性质,以及应用于测量、图像处理和科学研究等领域。
光波干涉原理可应用于多种检测和测量领域。
常见的应用有以下5种
1.薄膜厚度测量
光波干涉,可以用来测量透明薄膜的厚度。可通过观察干涉条纹的变化,来推断薄膜的光程差,从而确定其厚度。适用于:透明光学材料薄膜的测量。
2.折射率测量
光波干涉,可以通过测量材料中光的相位差来计算折射率,对于在材料研究、光学元件制造等领域非常有用。
3. 表面形状测量
光波干涉,可以用于测量物体表面的形状、高度差、凹凸度等。并经由分析干涉条纹的变化,得到物体表面的形状等信息。适用于:制造业中的精密表面质量检测,比如光纤端面3D形貌。
4.光学元件检测
光波干涉,可以用来检测光学元件的性能,如:透镜的曲率、平面度,光栅的参数等。
5. 其他应用
气体浓度测量、机械震动与变形测量、非破坏性材料检测与生物医学等领域。
光波干涉技术运用例子
1 .光纤端面干涉仪
以单色光或者白色宽带光的干涉来测量光纤端面3D形貌技术,在光纤通信产品上起到重要的作用。在光纤连接器生产车间和实验室,必备有光纤端面干涉仪,测量包括FC、SC、LC等单芯、MPO/MTP等多芯光纤产品。非接触式快速测量,可同时测量光纤高度、纤芯凹陷、连接器研磨角度等参数。
2. 显微干涉量测仪
以光干涉法来测量薄膜厚度及折射率等技术,在半导体光学元件、光学薄膜的制程或材料的研发实验室里,是显微干涉量测仪。非接触式测量可同时测量反射率、膜厚及光学系数;达到即时监控的目的,且不会伤害样品,快速且精准的达成测量目标。
审核编辑:汤梓红
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原文标题:认识光波干涉原理,深入运用
文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。
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