制程良率超99.99% 海目星激光打通Micro LED激光制程工艺

凭借高亮度、高可靠性、低功耗、可实现无缝拼接等优势，Micro LED成为当今新型显示技术的热点。

未来，在透明、柔性、车载、超高清大屏幕、全息投影等领域，Micro LED均具有广阔的市场应用前景。

12月7日下午-12月8日，由高工LED、高工产业研究院（GGII）主办，东山精密总冠名的以“微显巨变，再现光芒”为主题的2023高工LED年会暨十五周年庆典在深圳机场凯悦酒店盛大举行。

作为一年一度的LED行业盛会，本次年会共设4大专场，分别由明微电子、兆元光电、凯格精机、诺瓦星云冠名，议题覆盖芯片、封装、照明、显示、设备、驱动等LED全产业链，超500位企业领袖、行业专家、投资精英到场，研判技术路线，把脉行业趋势。

12月7日下午，在由凯格精机冠名的主题为“打通Mini/Micro LED制程最后‘一公里’”的设备专场上，海目星激光新型显示行业中心总经理彭信翰发表了主题为《打通Micro LED激光制程工艺》的演讲，主要从“新型显示行业装备项目的未来”，“激光巨量转移技术”，“巨量转移技术发展与未来”等方向与参会嘉宾展开分享。

新兴技术的变革之路总是充满挑战，Micro LED技术也是如此。尽管Micro LED市场前景广阔，但Micro LED制程也面临着巨量转移、焊接精度、生产良率、检测返修等诸多难题。

彭信翰也提出，“在Micro LED领域实现与国际领先水平并驾齐驱甚至领跑已成为当务之急，加快发展显示制造装备已是迫在眉睫。”

的确，Micro LED显示面板的制造工序较多，其中Micro LED巨量转移、巨量焊接及巨量修复是Micro LED显示屏的必备制程，激光技术及其装备是Micro LED显示面板产业的关键核心装备，相较于原来OLED制程装备大部分仰赖进口，Micro LED制程国产化装备有望领跑国际。

就激光巨量转移设备来说，主要应用于Micro LED巨量转移和单点修复制程，可实现对任意尺寸任意间距RGB芯片选择性转移，在修复段用于芯片单点转移。

据彭信翰介绍，激光转移具有高产出、高精度等特点，且在可选择性转移方面有较大优势。目前，Micro LED巨量转移技术主要有两大技术路线，分别为透过Mask选择性转移以及控制激光束转移。

其中，控制激光束转移是当前的主流技术路线，海目星激光通过这一技术路线推出二极管泵浦固体(DPSS)激光器，目前已经实现转移像素密度超600PPI,制程良率已达99.99%以上，转移基板尺寸超过11”，达到国际领先水平，可实现巨量转移+转移修复+面板修复。

二极管泵浦固体(DPSS)激光器应用于Micro LED巨量键合制程，搭配高精度温控激光器、快速视觉对位与演算法实现本应用。本制程为使用光斑整形后的线型光斑，将预先排列于玻璃上的LED以线扫方式，通过吸收激光之能量后实现巨量焊接的工艺。

就工艺效果而言，Micro LED巨量焊接设备在完成焊接后，透过目检可看到芯片对位精准，在点亮测试中可实现点亮与控制皆符合制程要求。彭信翰直言，“目前Micro LED巨量焊接设备已实现12”以上基板RGB三色焊接工艺，良率至高达99.99%以上(排除来料芯片等异常)。”

焊接完成之后，面板屏上会存在一些缺陷，这就需要做修复工作。为此，海目星还推出Micro LED Trimming设备，针对Micro LED制程中产生的缺陷，进行胶层、芯片去除与焊盘修整，以利后续修补制程。

经过该设备修复之后，面板生产芯片点亮良率可达到99.9%，甚至99.99%，修补后良率达到99.9999%，甚至100%。彭信翰表示，该项技术将解决Micro LED显示面板无法完美修复的问题，并推进新型显示关键设备的国产自主化，降低生产成本。

当Micro LED制程难点得以解决，Micro LED应用爆发还有多远？降本成为关键！

彭信翰认为，Micro LED降本主要有以下三大途径：“第一，装备及材料国产化；第二，创新技术及制程的推出；第三，生产规模化，良率提升。”

作为国内设备厂商领先者，海目星激光凭借强大的研发实力和对市场的洞察力，迅速在Micro LED设备领域崭露头角，并成为推动Micro LED技术变革的关键力量。

早在2017年，当大多数企业还在观望Micro LED市场的时候，海目星激光则敏锐地察觉到了这一新兴市场的巨大潜力，并迅速组建团队进行了深入调研、分析、论证。

经过长达4年的技术储备，2021年，海目星激光正式成立新型显示行业中心，全力以赴进军Micro LED设备市场。不同于大多数设备企业选择在Mini LED封装设备市场中分一杯羹，海目星选择坚定地深耕Micro LED设备市场。

“Mini LED技术已经非常成熟，市场逐渐进入红海。而Micro LED则是未来的风口，它的兴起需要大家共同推动。”彭信翰最后提到。

审核编辑：刘清