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请问丙酮在芯片制造中有什么作用呢?丙酮怎样防护?

中科院半导体所 来源:Tom聊芯片智造 2024-01-22 10:06 次阅读

丙酮在半导体制造中发挥关键作用,是不可或缺的清洗剂。它凭借出色的溶解能力和挥发性,助力芯片制造流程的顺利进行。

学过化学的朋友对于丙酮应该不陌生,丙酮在各个行业均发挥了重要作用,在塑料制造 ,化妆品,织物清洁等方面比较常见。然而您知道在芯片制造行业,丙酮有什么作用吗?操作中需要注意什么?用在哪些半导体工序中吗?

什么是丙酮?

丙酮(Acetone),是一种无色、易燃的液体,化学式为 CH3 (CO) CH3,它是最简单的酮类化合物,可以通过酮化反应制备,因其特有的气味而易于识别。沸点:56.05°C ,密度:0.791 g/mL (20 °C)。

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溶解性强:丙酮是极性有机溶剂,与水,醇,醚和大部分有机溶剂都可以混溶。

挥发性强:当丙酮暴露在空气中时,它会迅速地蒸发,形成蒸汽,其挥发性比水要强。这种特性使得丙酮在一些需要快速干燥的应用中非常有用。

易燃性:在常温下,它可以迅速产生足够的蒸汽与空气形成可燃混合物。一旦遇到明火等,就会发生燃烧和爆炸。

毒性:长时间或大剂量暴露于其蒸汽中,轻度暴露可引起眼睛、皮肤、鼻子和喉咙的刺激,严重时可能导致头痛、眩晕、恶心、呕吐、嗜睡,甚至丧失意识。如果长时间接触或大剂量吸入,可能对肝、肾和神经系统产生慢性毒性。

丙酮在芯片制造中有什么用?

丙酮(Acetone)在半导体制造中的主要应用是作为一种清洗剂。

丙酮主要被用于清洗有机污染物,如光刻胶、油脂,颗粒等。其分子结构中含有极性的酮基,使其具有很好的溶解能力。丙酮挥发性强,容易蒸发,能够在清洗后迅速去除,不会留下残留物,因此是一种理想的清洗剂。

在去胶工序中,丙酮可以用来清洗和去除不需要的光刻胶。丙酮是一种极性溶剂,其分子中的氧原子可以与光刻胶中的极性基团形成氢键,使得光刻胶可以溶解在丙酮中,去胶能力十分强劲。

丙酮怎样防护?

在处理丙酮时,一定要确保良好的通风,避免在封闭的空间中使用丙酮,在封闭的空间中容易形成可燃蒸汽,具有一定的风险。

丙酮对皮肤有刺激性,应避免接触皮肤和眼睛。在处理丙酮时,应佩戴适当的防护设备,如化学防护手套、防护眼镜等。

不要靠近火源,因为丙酮是易燃的,可以在火源或高温下燃烧。处理丙酮的地方应配备适当的灭火设备,以备不时之需。

储存丙酮时,应放在阴凉、通风的地方,并确保容器密封。避免靠近热源和做好防静电处理,以防止泄漏或爆炸。








审核编辑:刘清

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原文标题:丙酮在芯片制造中有什么用?

文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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