传感器作为现代信息技术的基石之一,对于推动国家经济发展具有重大意义。面对万物互联新时代的到来,传感器的重要性日益凸显,尤其是智能传感器的关键制造技术——微机电系统(MEMS)。在国家“十四五”规划中,明确微机电系统MEMS列为国家重点攻关与发展技术项目。
首家商业化大规模MEMS传感器是加速度计,由美国ADI公司于1991年发明。约在2000年全球正式进入商业化阶段,但中国由于起步较晚,直到2010年后才渐露头角。现在中国领先的MEMS公司皆成立于此段时间之后,如敏芯股份(2007年)深迪半导体(2008年)明皜传感(2011年)矽睿科技、芯动联科(2012年)及纳芯微(2013年)等。
这些国内优秀MEMS企业得到了资本市场的认可,其中敏芯股份、纳芯微、芯动联科成功上市,明皜传感正积极筹备IPO。这些企业的成长,见证了国产MEMS产业链的崛起。下面详细介绍一下MEMS技术在明皜传感中的应用情况,旨在为读者揭示其背后的创新力量与发展潜力。
明皜传感致力于实现MEMS全产业链覆盖,在此过程中,一批归国的华侨华人起到了至关重要的作用。其中包括明皜传感创始人之一汪达炜先生。他生于1960年,自幼接受良好教育,曾就读于加州大学伯克利分校、斯坦福大学等顶尖学府,取得微电机、工程管理等领域的学位。
学成归来后,汪达炜在AMD、朗讯科技等知名企业任职长达20年。在此期间,他积累了丰富的半导体研发经验,并且深入理解了国际级半导体巨头的管理模式。随后,汪达炜开始投身新技术研发,引领团队研发出了CMOS图像传感器,最终被索尼收购。此外,他还带领团队进行DLP芯片研发,这种芯片以MEMS微镜为核心,广泛应用于投影仪中。
通过这两次创业,汪达炜掌握了大量的CMOS和MEMS技术与工艺经验,并于2007年创立了明锐光电,致力于MEMS技术研发,为日后建立明皜传感奠定了坚实基础。
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