0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

晶圆清洗:芯片设计与生产中的关键一环

闪德半导体 来源:电子发烧友 2024-03-21 11:24 次阅读

半导体彻底改变了电子行业,并成为现代技术的重要组成部分。从计算机和智能手机到心脏起搏器和军事通信系统,半导体为各种设备提供动力。随着半导体技术的不断进步,确保其可靠性变得越来越重要。 当今电子设备的复杂性和密度,包含复杂的电路、小型化的PCB和精密的半导体晶圆,需要在设计和制造过程中对细节一丝不苟。在众多考虑因素中,清洁对于实现这一前沿技术的端到端设计和制造能力起着重要的作用。 我们应在半导体设计过程的早期就考虑清洁,因为它会影响所使用的材料、组件架构和制造工艺。我们需要在不损坏或改变晶圆的情况下去除半导体表面的污染物。即使留在表面的微小杂质也会导致蚀刻、腐蚀或点蚀,最终损害半导体的可操作性和一致性。

污染风险

虽然半导体制造通常在洁净室中进行,以保护复杂芯片免受污染,但污染风险仍然存在。芯片生产、储存、搬运和运输过程中可能会转移水、油和指纹。 半导体上最常见的污染物是颗粒物,包括灰尘颗粒、皮片、纤维和工艺碎片。这些颗粒可能来自空气、运动部件的磨损、衣服或脏的、未经过滤的蚀刻液。颗粒可以静电结合到基底上或被捕获在晶片基底几何形状中。 如果颗粒积聚在晶圆表面,它会干扰沉积薄膜并随后降解。颗粒物还会在光刻过程中造成阴影,降低接触曝光分辨率,或产生不平坦的表面,从而导致曝光过程中破裂。 此外,在用于晶圆传输的前开式统一晶圆盒(FOUP)上经常发现颗粒物,这凸显了清洁以防止FOUP到晶圆污染的重要性。 蒸汽除油器是一个闭环系统,具有两个隔室:煮沸槽和冲洗槽。在沸腾槽中,FOUP部件和MOSFET等半导体元件浸入加热的液体中进行清洗。可以结合搅拌以增强清洁液的有效性。通过沸腾作用、振动超声波能量或喷雾棒的组合,颗粒通常被从部件表面升起。

6bcbbd4a-e685-11ee-a297-92fbcf53809c.png

蒸汽脱脂是一种可重复、一致且节能的晶圆清洁方法

蒸汽脱脂优点

蒸汽脱脂工艺一旦建立并经过测试,就会保持恒定,并且可以实现自动化以提高效率。清洁结果保持可重复且一致。溶剂型清洁液在蒸汽脱脂机内保持稳定,可使用数千次,并且不需要日常监控,使洁净室操作过程控制更简单、成本更低。 此外,现代清洁液通过蒸汽脱脂器不断循环利用。它们无需对配方进行微调即可被纯化、回收和重复使用数百次。这确保了一致性,而无需管理任何意外差异。此外,蒸汽除油剂可以浓缩土壤,更大限度地减少废物处理的数量和频率。 蒸汽脱脂可以节省资源和能源。与水清洗不同,蒸汽脱脂不使用水,因此节省了这一重要的不可再生资源。此外,现代蒸汽除油器不需要气刀或鼓风机等额外设备来干燥半导体,从而减少了有效清洁所需的能源,并减少了总碳排放和温室气体排放。

测试最佳结果

为了达到最佳的清洁效果,建议在大规模生产之前小批量测试清洁半导体。这使得设计人员能够深入了解他们选择的清洁液的性能,以及它是否能有效地去除难以去除的颗粒并溶解晶圆上的其他污染物。 通过在设计过程的早期选择和测试兼容的清洁液,可以减少生产过程中的意外和困难。清洁度是半导体设计中的一个关键因素,可确保长期功能和可靠性。颗粒污染可能会对复杂的半导体和硅晶圆产生不利影响,这凸显了去除任何污染物以获得最佳性能的重要性。 在设计过程的早期选择清洁液和方法可以在制造开始之前解决清洁问题,从而减少返工和报废零件等不可预见的问题。

审核编辑:黄飞

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 晶圆
    +关注

    关注

    52

    文章

    4802

    浏览量

    127638
  • 芯片设计
    +关注

    关注

    15

    文章

    988

    浏览量

    54750

原文标题:为什么晶圆清洗在芯片设计和生产中很重要

文章出处:【微信号:闪德半导体,微信公众号:闪德半导体】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    清洗、酸洗、腐蚀机

    苏州淼半导体公司 是集半导体、LED、太阳能电池、MEMS、硅片硅料、集成电路于体的非标化生产相关清洗腐蚀设备的公司 目前与多家合作过 现正在找合作伙伴 !如果有意者 请联系我们。
    发表于 08-17 16:08

    生产制造

    本人想了解下制造会用到哪些生产辅材或生产耗材
    发表于 08-24 20:40

    元回收 植球ic回收 回收

    ,、WAFER承载料盒、提篮,芯片盒,包装盒,
    发表于 07-10 19:52

    鲲游光电级光学芯片研发生产基地项目签约

    上海鲲游科技有限公司由上海鲲游光电科技有限公司投资成立,拟在临港产业区建设“鲲游光电级光学芯片研发生产综合基地”,搭建国际流的
    的头像 发表于 04-21 17:47 3092次阅读

    探针测试主要设备有哪些

    探针测试也被称为中间测试(中测),是集成电路生产中的重要一环探针测试的目的就是确保在
    的头像 发表于 08-09 09:21 4634次阅读

    虹科HK-CIFX系列多协议接口卡在清洗机的应用

    清洗芯片生产过程中最繁琐的工序,其作用主要是去除
    的头像 发表于 09-30 14:45 1308次阅读

    浅谈探针测试的目的 探针测试主要设备

    探针测试也被称为中间测试(中测),是集成电路生产中的重要一环探针测试的目的就是确保在
    发表于 01-04 16:11 2026次阅读

    半导体清洗设备市场 2023-2030分析

    半导体清洗设备市场-概况 半导体清洗设备用于去除
    的头像 发表于 08-22 15:08 1806次阅读
    半导体<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>清洗</b>设备市场 2023-2030分析

    半导体清洗设备市场:行业分析

    半导体清洗设备市场预计将达到129\.1亿美元。到 2029 年。清洗是在不影响半导体表
    的头像 发表于 04-03 09:47 2482次阅读
    半导体<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>清洗</b>设备市场:行业分析

    生产的目标及术语介绍

    芯片的制造分为原料制作、单晶生长和的制造、集成电路生产和集成电路的封装阶段。本节主要讲
    的头像 发表于 05-06 10:59 1435次阅读

    什么是清洗

    清洗工艺的目的是在不改变或损坏表面或基板的情况下去除化学杂质和颗粒杂质。
    的头像 发表于 05-11 22:03 1374次阅读

    虹科案例 | 基于虹科EtherCAT接口卡和IO模块的清洗

    WaferCleaner清洗清洗芯片
    的头像 发表于 09-30 09:40 945次阅读
    虹科案例 | 基于虹科EtherCAT接口卡和IO模块的<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b><b class='flag-5'>清洗</b>机

    SMT技术:手机生产中不可或缺的一环,你了解吗?

    现代手机作为人们生活中不可或缺的通信工具,其制造过程中涉及到众多精密的技术。其中,表面贴装技术(SMT)是手机生产中至关重要的一环。本文将介绍手机生产中的表面贴装技术过程,包括贴装工艺、组装流程、
    的头像 发表于 06-19 11:21 1465次阅读
    SMT技术:手机<b class='flag-5'>生产中</b>不可或缺的<b class='flag-5'>一环</b>,你了解吗?

    ZR执行器:提升生产效率的关键一环

    ZR执行器:提升生产效率的关键一环 在当今竞争激烈的工业环境中,提升生产效率是每个企业都追求的目标。而在这个过程中,ZR执行器以其卓越的性能和稳定性,成为了提升
    的头像 发表于 06-07 20:07 253次阅读

    GaAs清洗和表面处理工艺

    GaAs作为常用的,在半导体功率芯片和光电子芯片
    的头像 发表于 10-30 10:46 121次阅读
    GaAs<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>的<b class='flag-5'>清洗</b>和表面处理工艺