SK海力士联手TEMC开发氖气回收技术，年度节省400亿韩元

据报道，SK 海力士日前公布与韩国特种气体供应商 TEMC 联手研发的全球首创氖气回收技术，每年能节约高达 400 亿韩元的成本。

该项目得益于地缘政治局势引发的氖气需求剧增以及价格上涨，韩国半导体巨头三星电子亦有意开启氖气回收计划。

氖气作为准分子激光气体的重要组成部分，用于高精密的半导体光刻工艺环节。其稳定性使得分离提纯成为可能，从而实现废气回收再利用。

SK 海力士联合 TEMC 研发出一套氖气回收装置，用以收集及分类处理光刻工艺环境中的氖气，然后交予 TEMC 进行纯化处理，最后回流至 SK 海力士使用。

据悉，现阶段回收装置的氖气回收率达 72.7%，且 SK 海力士预计后续将进一步提升至 77%。

据 SK 海力士测算，新回收技术每年有望节省 400 亿韩元的氖气采购费用，同时减少 12000 吨二氧化碳当量的温室气体排放。