近日,北京北方华创新型微电子旗下的子公司——北京北方华创微电子装备有限公司,成功获得一项名为“半导体腔室及设备”的重要发明专利。该项专利公布于中国国家知识产权局,授权公告号CN220665444U,公告日期为2024年3月26日。其初始申请日期为2023年7月27日。
此实用新型主要涉及一种半导体腔室以及相关设备。这个集成的腔室内包含了几个关键组件,如腔室本体、基座组件(负责放置圆晶)、磁流体组件(由驱动件和固定件组成,其中,固定件位于腔室本体外部,而驱动件则可旋转并密封于固定件之上),可以实现驱动件从腔室本体外部穿入到内部,并固定于基座组件上。
这个设计还特别配备了一个调平机构,它固定于腔室本体的外墙上,同时也将固定件与之相连。通过这样的方式,不仅能调整磁流体组件的设立角度,进而改变支撑面的角度,还可以大大简化反应器的调节过程,节省时间精力,减少维护成本,有效提升生产效率。
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