中微公司公布其2024年第一季度业绩报告,营业收入达16.05亿元人民币,同比上涨31.23%,归属于上市公司股东的净利润为2.49亿元,同比减少约9.53%。
利润下滑的主要原因是非经常性损益转为亏损,导致同比减少0.61亿元。其中,刻蚀设备业务收入达到13.35亿元,同比增幅高达64.05%,占总营收比例从66.55%大幅上升至83.20%。公司刻蚀设备产量的提升,以及期末期初库存商品的增长为未来的收入奠定坚实基础。
然而,受到终端市场波动影响,MOCVD设备收入降至约0.38亿元,同比减少约77.28%。此外,备品备件及服务收入也有所下滑,约为2.32亿元,同比减少约4.38%。
在刻蚀设备研发方面,公司积极投入先进芯片制造技术中关键刻蚀设备的研发和验证,目前已有多款设备在客户产线上展开验证。晶圆边缘Bevel刻蚀设备已完成开发,即将进入客户验证阶段,而TSV硅通孔刻蚀设备则在先进封装和MEMS器件生产中得到广泛应用。
在薄膜沉积设备研发方面,公司已有多款设备产品进入市场,部分设备已获得重复性订单,其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正稳步推进。
公司的钨系列薄膜沉积产品已覆盖存储器件所有钨应用,并已完成多家逻辑和存储客户对CVD/HAR/ALDW钨设备的验证,成功取得客户订单。近期,公司还计划推出多款CVD和ALD设备,以扩大薄膜设备的覆盖范围,进一步开拓市场。
在MOCVD设备研发方面,用于碳化硅功率器件外延生产的设备已于本季度交付客户进行验证测试;制造Micro-LED应用的新型MOCVD设备也已在客户端进行验证测试。
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