在半导体制造工厂中,各种电子设备所用半导体的制造过程中使用了多种化学品。在进行下一道工序之前,需要除去附着在电路上的多余的化学物质,并且使用“超纯水”进行该清洗。“超纯水”是指高度纯化的水,已去除常见矿物质、细菌和微生物,确保良好的清洗效益。
电导率是表示电流在水中流动难易程度的指标。通过测量电极之间流过的电流值,可以判断水是否具有高纯度判断水是否含有较多杂质,也是判断超纯水的重要依据。对此,物通博联提供工业智能网关接入电导率仪数据采集远程监控系统解决方案,通过实时采集电导率数据实现对纯水的自动监测、告警、控制与管理,确保水质安全进而保障半导体生产工作有序进行。
通过RS485将电导率仪连接工业智能网关,进行实时数据采集工作并以5G/4G/WIFI/以太网等方式对接到云平台或上位机中,从而实现电导率的可视化监控,并在超出安全阈值时自动告警,通过微信、短信、邮件等方式进行通知,确保及时管理控制,保障纯水浓度,确保生产安全与产品质量。
通过实时监测电导率数据报表,企业可以收获纯水管理经验,从而为优化管理制度提供可靠数据支持。通过识别定位到异常告警事件,可以定位出现异常的部分并快速诊断,从而及时采取措施,通过改善工艺、升级设备等系列手段,维护设备良好运行,促进生产升级。
审核编辑 黄宇
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