超声谐振驱动原理的直线与360°旋转压电马达！

利用超声谐振驱动原理的压电马达，其基本工作原理就是利用压电材料的逆压电效应，使其能产生超声波频率的机械振动，再通过摩擦驱动的结构设计，从而驱动移动台做旋转运动或直线运动。

超声是一种超出人听觉范围外的高频振动，因此超声压电马达具有噪声小的特点。此外，它还具有结构小，响应速度快，可断电自锁等优点。在精密加工测量仪器、半导体加工设备、医疗、航空航天等高技术领域应用前景广阔。

不同压电马达的运动原理

芯明天超声谐振驱动压电马达

（1）N59系列直线压电马达

产品外观

产品特点

• 一维X向运动

• 速度达25mm/s

• 分辨率达50nm

• 断电自锁

应用

• 光学仪器领域

• 精密仪器领域

• 医疗器械

• 微剂量注射器

• 小负载、大行程纳米定位

• 科学研究

• 光纤对接

• 微细加工

• 原子力显微镜

• 半导体的精密定位和微纳操作等

技术参数

型号	N59.9K
运动自由度	X
标称行程范围	9 或 ±4.5mm
速度上限	25mm/s
分辨率	50nm
负载能力	0.2kg
工作温度	0~50℃
质量	4g
材质	铝，不锈钢
电缆长度	0.1m

（2）N69系列旋转压电马达

产品外观

产品特点

• 360°双向旋转运动

• 速度可达220rpm

• 断电自锁

• 真空版本可选

应用

• 光学仪器领域

• 精密仪器领域

• 医疗器械

• 微剂量注射器

• 半导体技术

• 图像处理

• 纳米计量

• 光学仪器设备制造

• 干涉仪等

技术参数

型号	N69.K2
运动自由度	360°双向
最大速度	220rpm
分辨率	30μrad
扭矩	1mN·m
轴向负载力	0.2kg
工作温度	0~50℃
质量	3.5g
材质	钢、铝
电缆长度	0.1m

配套控制器

E66.A2K-H1板卡式压电控制器可控制N69系列和N59系列超声压电马达，单通道开环驱动，尺寸为38mm×27mm×12mm，可外部输入PWM信号控制，操作更便捷，小体积设计更易集成。

审核编辑 黄宇