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共聚焦显微镜有什么用?

中图仪器 2024-06-24 09:58 次阅读

在科学研究和精密制造领域,对材料表面特性的准确测量至关重要。共聚焦显微镜作为一种先进的显微成像技术,提供了一种非接触、高分辨率的表面分析手段。深圳市中图仪器股份有限公司推出的VT6000系列共聚焦显微镜,以其卓越的性能和多功能性,为微纳米级测量提供了全面的解决方案。

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产品概述

VT6000系列共聚焦显微镜基于共聚焦技术原理,结合精密Z向扫描模块和3D建模算法,对器件表面进行非接触式扫描,建立精确的3D图像。该系列产品能够广泛应用于半导体制造、3C电子产品光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等多个领域,为科研和工业应用提供了强有力的支持。

产品功能

1.微观形貌测量:设备能够测量物体表面的轮廓尺寸和粗糙度。

2.自动拼接功能:快速实现大区域的拼接缝合测量,提高测量效率。

3.一体化测量分析软件:软件自动统计测量数据并提供报表导出功能,支持批量测量。

4.数据处理功能:包括位置调整、纠正、滤波和提取等模块。

5.五大分析功能:包括粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析和功能分析。

6.辅助分析工具:一键分析和多文件分析功能,实现批量数据文件的快速分析。

应用领域

VT6000系列共聚焦显微镜可用于测量和分析各种产品、部件和材料的表面形貌特征,如面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度等。

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性能特色

1.高精度与高重复性:基于转盘共聚焦光学系统和高稳定性结构设计,保证了测量精度和重复性。

2.隔震设计:有效消减底面振动噪声,确保在嘈杂环境中的稳定性和可靠性。

3.一体化操作软件:提供测量与分析同界面操作,实现快速批量测量,具备自定义分析模板功能。

4.精密操纵手柄:集成X、Y、Z三个方向位移调整,快速完成测量前工作。

5.双重防撞保护:软件和机械电子传感器双重保护,降低操作风险。

技术指标

-行程范围:根据型号不同,X和Y行程范围从100mm到300mm,Z行程为100mm。

-显微物镜:提供10×;20×;50×;100×不同倍数的物镜,视场范围从120×120μm到1.2×1.2 mm。

-高度测量:重复性达到12nm,精度为±(0.2+L/100)μm。

- XY位移平台:负载能力达10kg,控制方式为电动。

-工作环境:适应多种环境条件,包括电源、温度、湿度和振动等。

产品配置

VT6000系列共聚焦显微镜的标准配置包括主机、物镜、自动位移台、电动物镜转盘、计算机、操纵手柄、软件等。此外,还提供多种可选配置,以满足不同用户的需求。

总结而言,VT6000共聚焦显微镜以其高精度、高重复性、一体化操作和强大的分析功能,在微纳米级测量领域提供了一个可靠的选择。无论是在科研探索还是在精密制造过程中,它都能为用户提供深入洞察微观世界的窗口。

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