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三维轮廓仪测粗糙度:SuperView W光学3D表面轮廓仪功能详解

中图仪器 2024-07-03 10:21 次阅读

在精密制造领域,表面粗糙度的测量是确保产品质量的关键步骤。光学3D表面轮廓仪为这一需求提供了解决方案。

半导体制造、3C电子、光学加工等高精度行业,表面粗糙度的测量精度直接影响到产品的性能和可靠性。SuperView W系列光学3D表面轮廓仪正是为了满足这一需求而设计的。

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产品特点

SuperView W系列光学3D表面轮廓仪采用了白光干涉技术,结合精密Z向扫描模块和3D建模算法,能够对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级的测量。这种非接触式的扫描方式不仅避免了对被测物体的损伤,还提供了极高的测量精度和重复性。

测量原理

该系列轮廓仪的工作原理基于光学干涉技术,通过白光LED作为光源,对被测物体表面进行照射。由于白光具有宽广的光谱,能够提供更高的测量精度和分辨率。通过精密的Z向扫描,设备能够捕捉到物体表面的微观形貌,并利用3D建模算法重建出物体的3D图像。

应用领域

SuperView W系列光学3D表面轮廓仪的应用领域非常广泛,包括但不限于半导体制造、3C电子产品的玻璃屏、光学元件的曲率和轮廓尺寸测量、超精密加工、微纳材料制造、汽车零部件以及航空航天和科研院所的研究工作。

性能特色

1. 高精度与高重复性:采用的光学干涉技术和精密Z向扫描模块,确保了测量的高精度。
2. 环境噪声检测功能:能够定量评估外界环境对测量的干扰,为设备调试和故障排查提供数据支持。
3. 精密操纵手柄:集成了X、Y、Z三个方向的位移调整功能,使得测量前的准备工作更加快捷。
4. 双重防撞保护措施:软件和硬件双重保护,最大限度降低操作风险。
5. 双通道气浮隔振系统:提供了稳定的工作环境,即使在没有外接气源的情况下也能正常工作。

技术指标

SuperView W系列提供了多种型号,以满足不同用户的需求。它们的技术指标包括但不限于光源、影像系统、干涉物镜、光学ZOOM、标准视场、物镜塔台、XY位移平台等,均以高标准设计,确保测量结果的准确性和可靠性。

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光学3D表面轮廓仪以其高精度、高重复性和强大的功能,为精密制造业提供了一个可靠的测量工具。无论是在科研还是在工业生产中,它都能帮助用户获得精确的表面粗糙度数据,从而提升产品质量,满足日益严格的行业标准。

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