日企大力投资光刻胶等关键EUV材料
日本在EUV光刻领域保留着对供应链关键部分的控制，例如半导体材料。
据了解，芯片制造涉及19种关键材料，且多数都具有较高技术壁垒，而日本企业在其中14种关键材料中占据全球超过50%的市场份额。由于市场对需要EUV光刻系统的先进芯片的需求不断增长，东京应化、信越化学、三菱化学等日本公司正在增加投资并关注EUV关键技术所用材料的供应。
东京应化（TOK）正在福岛县建造一座全新的先进光刻胶工厂，该工厂预计将于2024年底开工，2026年完工。工厂致力于提高KrF（氟化氪）和EUV光刻系统的光刻胶生产能力和质量，并将成为该公司最大的工厂。
信越化学将投资830亿日元（5.13亿美元）在群马县建造第四家光刻胶工厂，该工厂计划于2026年竣工，将满足出口需求并开展研发活动。信越化学的光刻胶适用于各种光刻工艺，包括EUV。
三菱化学加大了对光刻胶材料Lithomax的投入。该公司正在其九州工厂安装量产设备，目标是将ArF光刻胶产量提高一倍以上，并在2025年9月之前实现EUV光刻胶的首次量产。
三井化学正在开发下一代掩模防护膜，即用于EUV光刻的保护膜。其山口工厂计划2026年开始生产，年产量为5000片。
AGC通过其子公司AGC Electronics加大了对EUV掩模版设备的投资，旨在将产能提高30%。这些用于芯片图案化的掩模版由AGC内部生产并供应给主要芯片制造商。AGC的目标是到2025年EUV掩模版的销售额超过400亿日元。
审核编辑 黄宇
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
光刻胶
+关注
关注
10文章
308浏览量
30104
发布评论请先 登录
相关推荐
一文看懂光刻胶的坚膜工艺及物理特性和常见光刻胶
共读好书关于常用光刻胶型号也可以查看这篇文章：收藏！常用光刻胶型号资料大全，几乎包含所有芯片用光刻胶欢迎扫码添加小编微信扫码加入知识星球，领取公众号资料
如何成功的烘烤微流控SU-8光刻胶？
在微流控PDMS芯片加工的过程中，需要使用烘胶台或者烤胶设备对SU-8光刻胶或PDMS聚合物进行烘烤。SU-8光刻胶的烘烤通常需要进行2-3次。本文简要介绍SU-8
导致光刻胶变色的原因有哪些？
存储时间 正胶和图形反转胶在存储数月后会变暗，而且随着储存温度升高而加速。因为该类型光刻胶含有的光活性化合物形成偶氮染料，在 可见光谱的部分具有很强的吸收能力，对紫外灵敏度没有任何影响。这种变色过程
光刻胶的硬烘烤技术
根据光刻胶的应用工艺，我们可以采用适当的方法对已显影的光刻胶结构进行处理以提高其化学或物理稳定性。通常我们可以采用烘烤步骤来实现整个光刻胶结构的热交联，称为硬烘烤或者坚膜。或通过低剂量紫外线辐照
光刻胶后烘技术
后烘是指（post exposure bake-PEB）是指在曝光之后的光刻胶膜的烘烤过程。由于光刻胶膜还未显影，也就是说还未闭合，PEB也可以在高于光刻胶软化温度的情况下进行。前面的文章中我们在
光刻胶的图形反转工艺
形态。这种方法的主要应用领域是剥离过程，在剥离过程中，底切的形态可以防止沉积的材料在光刻胶边缘和侧壁上形成连续薄膜，有助于获得干净的剥离光刻胶结构。 在图像反转烘烤步骤中，光刻胶的热稳
光刻胶的保存和老化失效
我们在使用光刻胶的时候往往关注的重点是光刻胶的性能，但是有时候我们会忽略光刻胶的保存和寿命问题，其实这个问题应该在我们购买光刻胶前就应该提出并规划好。并且，在
关于光刻胶的关键参数介绍
与正光刻胶相比，电子束负光刻胶会形成相反的图案。基于聚合物的负型光刻胶会在聚合物链之间产生键或交联。未曝光的光刻胶在显影过程中溶解，而曝光的光刻胶
光刻胶分类与市场结构
光刻胶主要下游应用包括：显示屏制造、印刷电路板生产、半导体制造等，其中显示屏是光刻胶最大的下游应用，占比30%。光刻胶在半导体制造应用占比24%，是第三达应用场景。
发表于 01-03 18:12
•1149次阅读
全球光刻胶市场预计收入下滑，2024年有望反弹
所谓的“光刻胶”，即是在紫外线、电子束等辐射下，其溶解度会产生变化的耐腐蚀薄膜材料。作为光刻工艺中的关键要素，广泛应用于晶圆和分立器件的精细
万润股份在半导体制造材料领域稳步推进，涉足光刻胶单体、PI等业务
近期，万润股份在接受机构调研时透露，其“年产65吨半导体用光刻胶树脂系列”项目已经顺利投入运营。该项目旨在为客户提供专业的半导体用光刻胶树脂类材料。
光刻胶黏度如何测量？光刻胶需要稀释吗？
光刻胶在未曝光之前是一种黏性流体，不同种类的光刻胶具有不同的黏度。黏度是光刻胶的一项重要指标。那么光刻胶的黏度为什么重要？黏度用什么表征？哪些光刻胶
发表于 11-13 18:14
•1403次阅读
工商网监
评论