双闪耀光栅介绍

使用复制工艺，可以将由两个不同的主光栅制成的复制光栅组合成单个光栅。

具有不同凹槽间距的两个(或多个)光栅可以以这种方式组合。然而，由于每个凹槽图案的色散不同，光谱通常会单独成像。这种性质的光学元件将充当两个不同的光栅，其位置和取向相对于彼此是固定的。

然而，具有相同凹槽间距的光栅可以以这种方式组合，以形成表现得像单个光栅的部件，但具有由各部分的效率的加权平均值(由每个部分的照明面积加权)形成的效率曲线。由于可用凹槽轮廓的限制，这种双闪耀光栅可以提供传统生产的光栅无法实现的效率曲线。可以选择两个部分的相对面积来调整整个光栅的效率行为。

双闪耀光栅是通过小心地将两个不同光栅的子光栅复制到一起来制造双闪耀子光栅，该子光栅本身是使用传统方法复制的。以这种方式制造的光栅表现出λ/4或更小的波前畸变，并表现出单刻划光栅无法获得的效率特性，因为它们的效率曲线具有更低和更宽的峰值(见图1-1)。

图1-1 双闪耀光栅的效率曲线。两个刻划光栅G1和G2，具有相同的凹槽间距，但在250nm和450nm处闪耀，并且组合以形成双闪耀光栅G。照射两个光栅中的每一个的相等区域以产生具有固体效率曲线的光栅。

审核编辑 黄宇