上海伯东日本 Atonarp Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪, 基于四级杆的质量分离, Aston 质谱分析仪设计紧凑, 适用于气体分析和过程气体监测, 满足半导体工艺过程中, 沉积, 刻蚀, 光刻等气体分析.
Aston 质谱分析仪 CVD 清洗终点优化
选择 clean 的反应物或者生成物, 使用 Aston 相对定量分析其中的气体成分, 可以动态判断 CVD 清洁过程的刻蚀终点的时间. 不论是气体的节省和工艺时间的节省都可以最大程度的增大产能.
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Aston 质谱分析仪与腔室连接
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Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪基本参数
型号 | Aston Impact-300 | Aston Impact-300DP |
质量分离 | 四级杆 | |
离子发生器 | 电子电离 EI | 电子电离 EI |
检测器 | 法拉第杯 / 扫描电镜 | |
真空系统 | 涡轮分子泵 | 涡轮分子泵 |
质量范围 | 2-285 amu | |
检测限 | 100 ppb | |
精度 | 0.5% | |
可重复性 | +/-0.5% over 24 Hr | |
耐腐蚀性气体 | 轻微 | |
耐副产物气体 | 是 | |
高速以太网 | 是 | |
气体压力覆盖面广 | 是 |
上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 在现有生产工艺工具上加装 Aston, 可在短时间内实现晶圆更高产量!
若您需要进一步的了解Atonarp Aston™在线质谱仪详细信息或讨论,
请联络上海伯东: 叶女士107
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