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纯度达到99.999999999%,江苏鑫华半导体成功量产电子级多晶硅

半导体动态 来源:网络整理 作者:工程师吴畏 2018-06-08 09:45 次阅读

中国正在半导体行业奋起直追,但整体差距依然非常大,比如用来制造芯片的硅晶圆,就掌握在日本、德国、韩国等的极少数企业手中。

不过我们也在一个个地突破!据报道,江苏鑫华半导体材料科技有限公司已经成功量产纯度要求达到99.999999999%的电子级多晶硅,在在经过一系列严格验证、检测之后,不但供应给国内市场,还出口到了韩国。

这标志着,我国半导体集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准,这也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。过去中国基本完全依赖进口。

电子级多晶硅材料是集成电路的关键基础材料,也是纯度最高的多晶硅材料。太阳能级多晶硅的纯度要求只有99.9999%,电子级则多了五个9。

更形象地说,5000吨电子级多晶硅里的杂质含量,只有大约6克,相当于一枚1元硬币的重量。

2015年12月,鑫华半导体由国家集成电路产业投资基金联手保利协鑫共同投资38亿元,建设国内首条5000吨半导体集成电路专用电子级多晶硅生产线,2017年11月8日正式发布电子级多晶硅产品

目前,该电子级多晶硅已通过客户验证,并形成规模化销售,打破长期以来国外高纯度材料垄断,填补该产业国内技术空白。

鑫华半导体的电子级多晶硅产能可保证国内企业3-5年内不缺货,产品质量满足40nm工艺及以下极大规模集成电路用300mm尺寸单晶制造需求,同时还将规划再上一条5000吨生产线,更好地满足国际国内市场。

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