单晶硅、多晶硅、蓝宝石等晶体生长基础促进了半导体工业和电子工业的发展。晶体生长是指气相、液相物料在稳定温度环境中转换成固相晶体的过程。其中生长炉内的温度控制对晶核的形成与生长质量十分重要,既要确保温度恒定,防止过冷或过热,也有确保随时可控,实现不同温度梯度的生长需求。
对此,数之能提供接入温控仪PLC的数据采集解决方案,实现晶体生长全过程的温度实时监控、异常告警、远程控制、远程维护等功能,为企业提供高效可靠的管理手段,确保晶体生长的安全可靠。
实现功能
实现对炉内温度、真空状态、冷却水流量、晶体质量以及设备电力参数(电压、电流)的全面数据采集,并在可视化平台上进行直观展示,使管理人员能够迅速掌握设备运行状态,及时发现并应对任何异常情况。
系统具备异常数据监测功能,一旦检测到异常,将立即通过微信、短信、电子邮件等多种通讯方式向管理人员发送警报,以便他们迅速定位问题、采取应对措施,确保设备的安全稳定运行和产品质量的安全可控。
支持远程对长晶炉进行操控与维护,包括远程编程、调试、程序上传与下载等操作,提高工作效率与灵活性,降低运维成本,使相关工作得以更加便捷地开展。
采集的数据将被存储至数据库、MES及ERP系统中,为后续的数据分析与产能优化提供有力支持,帮助技术人员深入洞察生产过程中的规律与趋势,优化生产工艺和参数配置。
审核编辑 黄宇
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