RCA清洗机配置设置有哪些

RCA清洗机是一种用于半导体制造过程中的湿法清洗设备，主要用于去除晶圆表面的有机和无机污染物。虽然知道它的重要性，但是大家也好奇，这台机器配置设置是什么样的？

RCA清洗机配置设置参数详解

主要由两只石英加热缸、两套温度控制系统、两只快速喷淋排水槽(QDR)、两套喷淋控制系统、一只氢氟槽、一只一阶溢流槽、一只三阶溢流槽、两套吸酸排放器等构成。

设备还配备有电气控制部分、化学工艺槽、纯水清洗槽等，并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配套的接口。

根据这些配置与特性，大家现在知道RCA清洗机目前主要应用于半导体制造行业。此外，随着半导体技术的不断发展，对晶圆表面的清洁度要求越来越高，这也促进了RCA清洗机在半导体制造行业中的广泛应用。同时，由于RCA清洗机具有高精度、高效率、自动化程度高等特点，也受到了其他行业的青睐，如光电子、纳米科技等领域。

审核编辑 黄宇