0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

多晶硅生产过程中硅芯的作用

中科院半导体所 来源:晶格半导体 2024-11-14 11:27 次阅读

多晶硅还原炉内,硅芯起着至关重要的作用。

在多晶硅的生长过程中,硅芯的表面会逐渐被新沉积的硅层所覆盖,形成多晶硅晶体,它主要作为沉积硅材料的基础。硅芯的表面是化学反应发生的场所,硅芯的表面特性(如清洁度、粗糙度)会影响沉积速率和硅材料的质量。

基底作用 硅芯作为沉积过程的基底,是硅材料沉积的起点。在化学气相沉积过程中,硅芯表面提供了硅原子沉积的场所。 导热作用 硅芯通常由高纯度的硅制成,具有良好的导热性能。在还原炉中,硅芯通过电阻加热,将电能转化为热能,为化学反应提供必要的高温环境。 结构支撑 硅芯的结构为沉积过程提供了必要的支撑,确保沉积的硅材料能够均匀地生长在硅芯表面。 热稳定性 硅芯需要具有足够的热稳定性,以承受在生产过程中的高温和温度变化,防止因热应力而导致的损坏。 电导性 硅芯的电导性能影响加热效率和硅棒的加热均匀性,进而影响沉积速率和硅材料的质量。 可以选用其他材料作为基底吗? 理论上,可以使用其他材料作为基底来沉积多晶硅,但硅材料的晶体生长特性需要与基底材料相匹配,以确保能够生长出高质量的多晶硅。而且基底材料需要与沉积过程中使用的化学物质(如三氯硅烷SiHCl3和氢气H2)具有很好的化学相容性,以避免化学反应导致基底材料的损坏或产生不希望的副产品

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 多晶硅
    +关注

    关注

    3

    文章

    243

    浏览量

    29420
  • 晶体
    +关注

    关注

    2

    文章

    1375

    浏览量

    35605

原文标题:多晶硅生产过程中硅芯有什么用

文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏

    相关推荐

    单晶圆系统:多晶硅与氮化硅的沉积

    。在动态随机存取存储器(DRAM)芯片的制造过程中,由多晶硅 - 钨硅化物构成的叠合型薄膜被广泛应用于栅极、局部连线以及单元连线等关键部位。 传统的高温炉多晶硅沉积和化学气相沉积(CVD)钨硅化物工艺,在进行钨硅化物沉积之
    的头像 发表于 02-11 09:19 111次阅读
    单晶圆系统:<b class='flag-5'>多晶硅</b>与氮化硅的沉积

    为什么采用多晶硅作为栅极材料

    晶体管的沟道的电流。栅极电压的变化使得晶体管在导通和关闭状态之间切换。   多晶硅栅的优势   1. 多晶硅耐高温。在源漏离子注入后,需要高温退火。而铝栅的熔点在六百多摄氏度。而高温退火过程
    的头像 发表于 02-08 11:22 129次阅读
    为什么采用<b class='flag-5'>多晶硅</b>作为栅极材料

    多晶硅的存储条件是什么

    在全球积极推动清洁能源转型的大背景下,太阳能光伏产业蓬勃发展,而多晶硅作为光伏产业链的关键起始原料,其质量和性能直接关系到整个光伏系统的发电效率和稳定性。因此,了解并严格把控多晶硅的存储条件显得尤为重要。
    的头像 发表于 12-27 09:22 305次阅读

    今日看点丨美国宣布提高中国太阳能硅片、多晶硅关税50%;联发科天玑 8400 芯片详细参数曝光

    1. 美国宣布提高中国太阳能硅片、多晶硅关税至50% 2025 年1 月1 日生效   美国拜登政府周三(12月11日)宣布,将增加对中国太阳能硅片和多晶硅、钨产品的进口关税,作为其保护本国清洁
    发表于 12-12 10:09 611次阅读

    晶棒产率提升措施

    问题: 加大直径对产率有什么影响 加大棒的最终直径对产率有什么影响     直径对产率的影响 加大
    的头像 发表于 11-27 10:56 260次阅读
    <b class='flag-5'>硅</b>晶棒产率提升措施

    多晶硅栅工艺的制造流程

    与亚微米工艺类似,多晶硅栅工艺是指形成 MOS器件的多晶硅栅极,栅极的作用是控制器件的关闭或者导通。淀积的多晶硅是未掺杂的,它是通过后续的源漏离子注入进行掺杂,PMOS 的栅是p型掺杂
    的头像 发表于 11-07 08:58 926次阅读
    <b class='flag-5'>多晶硅</b>栅工艺的制造流程

    光伏多晶硅的应用领域有哪些

    光伏多晶硅是太阳能光伏产业的关键材料,它在太阳能电池的生产中扮演着重要角色。多晶硅太阳能电池因其成本相对较低、制造工艺成熟、稳定性好等特点,在光伏市场
    的头像 发表于 09-20 11:33 778次阅读

    光伏多晶硅的分片方法及优缺点

    光伏多晶硅是一种用于制造太阳能电池的材料,其分片过程是将整块的多晶硅切割成适合制造太阳能电池的小块。这个过程对于提高太阳能电池的效率和降低成本至关重要。以下是一篇关于光伏
    的头像 发表于 09-20 11:26 612次阅读

    多晶硅生产污水处理设备数据采集方案

    多晶硅作为一种关键的功能材料,在集成电路、晶体管、太阳能电池等领域发挥着重要作用。然而,多晶硅生产过程中需要使用大量的水,如冷却水、清洗水、反应水等。这些水在使用后会被污染,需要进行处
    的头像 发表于 09-02 13:35 228次阅读
    <b class='flag-5'>多晶硅</b><b class='flag-5'>生产</b>污水处理设备数据采集方案

    多晶硅栅耗尽效应简述

    当栅与衬底之间存在压差时,它们之间存在电场,静电边界条件使多晶硅靠近氧化层界面附近的能带发生弯曲,并且电荷耗尽,从而形成多晶硅栅耗尽区。该耗尽区会在多晶硅栅与栅氧化层之间产生一个额外的串联电容。当栅氧化层厚度减小到 2nm 以下
    的头像 发表于 08-02 09:14 3644次阅读
    <b class='flag-5'>多晶硅</b>栅耗尽效应简述

    SMT生产过程中锡膏检查(SPI)的作用是什么

    一站式PCBA智造厂家今天为大家讲讲SMT生产过程中SPI的作用是什么?SPI在SMT贴片加工过程中起到的作用。在电子制造领域,SPI是指Solder Paste Inspection
    的头像 发表于 07-10 09:26 949次阅读

    大全能源半导体级多晶硅项目首批产品出炉

    近日,大全能源宣布其半导体级(芯片用电子级)多晶硅项目的首批产品顺利出炉,这一里程碑事件标志着我国在半导体原材料领域取得了重要突破。
    的头像 发表于 05-29 11:38 727次阅读

    大全能源半导体级多晶硅项目首批产品成功产出

    目前,8英寸、12英寸晶圆用多晶硅主要应用于超大规模集成电路,其生产过程涉及精密控制、高度纯化以及严格的品质管理等环节,工艺复杂且难度较高。
    的头像 发表于 05-24 10:57 854次阅读

    浅析多晶硅位错存在的两种来源

    根据晶体凝固生长与位错形成、运动与增殖的理论,多晶硅位错存在两种来源:原生和增殖。
    的头像 发表于 03-27 11:09 651次阅读
    浅析<b class='flag-5'>多晶硅</b>锭<b class='flag-5'>中</b>位错存在的两种来源

    多晶硅的块状破碎过程解析

    人工破碎就是工人用碳化钨锤多晶硅棒进行锤击达到粉碎的目的。碳化钨的硬度仅次于钻石,能够保持锋利的边缘和形状,即使在高强度使用下也不容易磨损。
    的头像 发表于 02-27 10:17 1479次阅读
    <b class='flag-5'>多晶硅</b>的块状破碎<b class='flag-5'>过程</b>解析