晶硅机振动故障问题一直是半导体制造领域中的一大挑战。最近某大型半导体工厂的晶硅机频繁出现振动异常,严重影响了生产线的稳定性和晶圆的成品率。为了深入探究这一故障问题的根源,工厂邀请KM公司进行振动分析服务。
KM工程师携带KMbalancerPro多功能机械状态分析仪来到现场,设备转速比较慢,正常为8~23转/分,最高转速为40转/分,分别检测10转、15转、20转、40转,各个转速下的振动情况,客户选择了好几种型号的振动分析仪都不能检测到低转速下的振动。用KMbalancerPro多功能机械状态分析仪在10转以上,每个转速下都能很准的测量出转速,用标量可以检测出各个转速下的振动量,客户对于仪器在低转速下能测量出的数值很满意。
KM工程师建议客户加强对晶硅机日常维护和保养的力度,确保所有螺栓和紧固件都处于紧固状态,探讨了如何通过优化设计来减少共振效应的发生。经过一系列的努力和改进,晶硅机的振动故障问题得到了显著缓解,生产线的稳定性和晶圆的成品率均得到了大幅提升。
这一成功案例不仅为半导体工厂解决了实际生产中的难题,也为其他面临类似问题的工厂提供了宝贵的经验和借鉴。未来,随着技术的不断进步和创新,相信晶硅机的振动故障问题将得到更加有效的解决。
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审核编辑 黄宇
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