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晶圆料号打标的方式及激光打标的原理

中科院半导体所 来源:Tom聊芯片智造 2024-12-16 16:48 次阅读

本文介绍了晶圆料号打标的方式以及激光打标的原理。

晶圆为什么要打标?

晶圆在制造过程中有数百道工艺步骤,标记使得每片晶圆能够在不同阶段进行身份识别,有助于追朔,生产管理,数据收集分析,防止混淆等功能。

晶圆的标打在哪里?

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如上图,一般在晶圆边缘的flat 或notch附近,正反面均可。

为什么用激光而不用油墨?

1、激光打标洁净度更高,油墨在操作过程中会对晶圆有污染;

2、油墨容易被有机类容易去除掉,导致失去标记功能;

3、激光的精度更高,能够生成微小的文字、条形码等。

激光打标的原理是什么?

激光束直接作用在材料表面,使其局部温度迅速上升到气化点,使材料表面物质瞬间气化并消失,从而在表面留下凹痕。

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原文标题:晶圆料号为什么用激光打标而不用油墨?

文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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