0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

为什么晶圆是圆的?芯片是方的?

Piezoman压电侠 2024-12-16 17:28 次阅读

晶圆为什么是圆的而不是方的?

按理说,方型的Die放在圆形的Wafer里总会不可避免有空间浪费,为什么不做成方型的更节省空间。

因为制作工艺决定了它是圆形的。提纯过后的高纯度多晶硅是在一个子晶(seed)上旋转生长出来的。多晶硅被融化后放入一个坩埚(Quartz Crucible)中,再将子晶放入坩埚中匀速转动并且向上提拉,则熔融的硅会沿着子晶向形成一个圆柱体的硅锭(ingot)。

这种方法就是现在一直在用的CZ法(Czochralski),也叫单晶直拉法。如下图:

wKgZO2df8s6Acl1uAAGljieYZ1o292.png

然后硅锭再经过金刚线切割变成硅片:

wKgZPGdf8s6AGRnFAAKRo84mstk764.png

硅片经过打磨等处理后就可以进行后续的工序了。

单晶直拉法工艺中的旋转提拉决定了硅锭的圆柱型,从而决定晶圆是圆形的。

直拉法的过程是先在坩埚中将高纯硅加热为熔融态,再将晶种(籽晶)置于一根精确定向的棒的末端,并使末端浸入熔融状态的硅,然后将棒缓慢向上提拉并旋转。

通过对提拉速率、旋转速率与温度的精确控制,就可以在棒的末端得到一根较大的圆柱状单晶硅棒,后续再对硅棒进行打磨、抛光、切割等工序后,就能得到一片可用的圆形的硅片了。所以说,晶圆的圆是因为硅棒“圆”。不过准确来说,晶圆并不是完全的圆形。

为什么后来又不圆了呢?其实中间有个过程被掠过了,即Flat/Notch Grinning。

wKgZPGdf8s6ATZ_RAAAkhRIUVog216.jpg

通常硅片在加工为晶圆后周围会磨出一个缺口。

在200mm以下的硅锭上是切割一个平角,叫做Flat。

在200mm(含)以上硅锭上,为了减少浪费,只裁剪个圆形小口,叫做Notch。切片后晶圆就变成了这样:

如果你仔细看本文的第一个图,就会发现它其实是有缺一个小豁口的。

为什么要这样做呢?其实,这个小豁口因为太靠近边缘而且很小,在制作Die时是注定没有用的,这样做可以帮助后续工序确定Wafer摆放位置,为了定位,也标明了单晶生长的晶向。

定位设备可以是这样:

wKgZO2df8s-AInkNAABhn0ArkFM190.jpg

这样切割和测试都比较方便。严格意义上所有的Wafer都不是圆形的。如果忽略Flat/Notch这些小问题,那它的圆形由工艺所决定。

圆形的芯片其实更难制造

硅片在经过涂胶、光刻、刻蚀、离子注入等步骤后,一颗颗芯片才会被制造出来,不过此时芯片还是“长”在晶圆上的,需要经过切割才能变成一颗颗单独的芯片。

想象一下,方形的芯片仅需几刀就可以全部切下。如果是圆形的芯片呢?恐怕就要耗费比方形几倍的时间来切割了。从封装方向看,方形的芯片也便于进行引线操作,即使是Flip chip型封装,方形也更方便机器操作芯片将I/O接口与焊盘对齐。

最重要的一点,圆形芯片并不能解决硅片面积浪费的问题。在一个晶圆上切下许多方形区域,这些区域中间不会有缝隙,仅会在晶圆边缘留下空余。但如果从一个平面上切下很多圆形的区域,中间就一定会有部分区域被浪费,同时还不能避免晶圆外围的浪费。

wKgZPGdf8s-AS6wJAABn8ED7FVQ051.png

其实节约晶圆面积始终是一项重要课题。晶圆上能生产的芯片越多,生产效率就越高,单颗芯片的成本也越低。目前解决生产效率的最好方法就是提高晶圆面积。

wKgZPGdf8s-ADZw7AACq19D7-Co056.jpg

从图片中可以简单看出,当芯片面积固定时,采用更大的晶圆可以有效提升晶圆利用率。以国际上Fab厂通用的计算公式看:

wKgZO2df8s-AB1fVAADNJx1AK6M818.png

在12寸晶圆上生产100mm²的芯片约能生产660块芯片,而采用8寸晶圆,就只有180块芯片,晶圆面积减少50%,但芯片数量却少了72%。

因此,目前12寸晶圆成为全球更大IDM与foundry厂商的主要战场。我国目前只有少量企业拥有12英寸的半导体硅片制造技术,国内企业正在加速追赶世界前列。

最后总结一下标题提出的问题,芯片为什么是方的?圆形芯片难以切割,后续封装阶段也不方便控制,最重要的是,圆形芯片不能解决晶圆面积浪费的问题。为什么晶圆是圆的?在生产芯片的过程中,圆形晶圆由于力学因素生产更方便,良率更高,且硅棒天然是圆柱型,晶圆自然也就是圆形了。

免责声明:文章来源“ 中国科学院半导体研究所”公众号,转载此文出于传递更多信息之目的,仅为分享和学习使用,不做任何商业用途,不代表本公司观点,如涉及作品内容、版权和其他问题,请及时联系删除。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 芯片
    +关注

    关注

    455

    文章

    50752

    浏览量

    423313
  • 晶圆
    +关注

    关注

    52

    文章

    4898

    浏览量

    127944
  • 制作工艺
    +关注

    关注

    0

    文章

    15

    浏览量

    7467
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    什么是

    ` 是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。
    发表于 12-01 11:40

    什么是测试?怎样进行测试?

    的晶粒时,标有记号的不合格晶粒会被洮汰,不再进行下一个制程,以免徒增制造成本。在制造完成之后,测试是一步非常重要的测试。这步测试是
    发表于 12-01 13:54

    揭秘切割过程——就是这样切割而成

    ``揭秘切割过程——就是这样切割而成芯片就是由这些
    发表于 12-01 15:02

    切割目的是什么?切割机原理是什么?

    使用方式。、二.切割机原理芯片切割机是非常精密之设备,其主轴转速约在30,000至 60,000rpm之间,由于晶粒与晶粒之间距很小而且晶粒又相当脆弱,因此精度要求相当高,且必须使用钻石刀刃来进行
    发表于 12-02 14:23

    是什么?硅有区别吗?

    `什么是硅呢,硅就是指硅半导体积体电路制作所用的硅晶片。是制造IC的基本原料。硅
    发表于 12-02 14:30

    芯片封装有什么优点?

    芯片封装技术是对整片晶进行封装测试后再切割得到单个成品芯片的技术,封装后的芯片尺寸与裸片
    发表于 09-18 09:02

    表面各部分的名称

    表面各部分的名称(1)器件或叫芯片(Chip,die,device,circuit,microchip,bar):这是指在表面占大部
    发表于 02-18 13:21

    针测制程介绍

    针测制程介绍  针测(Chip Probing;CP)之目的在于针对芯片作电性功能上的 测试(Test),使 IC 在进入构装前先行
    发表于 05-11 14:35

    封装有哪些优缺点?

      有人又将其称为片级-芯片尺寸封装(WLP-CSP),以圆圆片为加工对象,在上封装芯片
    发表于 02-23 16:35

    什么?如何制造单晶的

    纳米到底有多细微?什么?如何制造单晶的
    发表于 06-08 07:06

    12寸价格变化趋势_12寸能产多少芯片

    本文开始对12寸价格变化趋势进行了分析,其次阐述了12寸的应用及12寸产能排名状况,
    的头像 发表于 03-16 14:12 5.2w次阅读
    12寸<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>价格变化趋势_12寸<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>能产多少<b class='flag-5'>芯片</b>

    芯片的关系,能做多少个芯片

    芯片切割完成的半成品,芯片的载体,将
    的头像 发表于 01-29 16:16 6w次阅读

    什么是级封装

    在传统封装中,是将成品切割成单个芯片,然后再进行黏合封装。不同于传统封装工艺,
    的头像 发表于 04-06 15:24 1.1w次阅读

    为什么芯片的,的?

    //熟悉半导体制造流程的朋友知道,芯片在切割封装之前,所有的制造流程都是在(Wafer)上操作的。不过我们见到的芯片都是方形的,在圆形的
    的头像 发表于 12-19 11:43 2688次阅读
    为什么<b class='flag-5'>芯片</b>是<b class='flag-5'>方</b>的,<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>是<b class='flag-5'>圆</b>的?

    为什么的?芯片的?

    按理说,方型的die放在圆形的wafer里总会不可避免有空间浪费,为什么不做成方型的更节省空间。
    的头像 发表于 08-02 16:49 2863次阅读
    为什么<b class='flag-5'>晶</b><b class='flag-5'>圆</b>是<b class='flag-5'>圆</b>的?<b class='flag-5'>芯片</b>是<b class='flag-5'>方</b>的?