DNP突破超2nm EUV光刻光掩模技术

Dai Nippon Printing Co., Ltd.(DNP)近期在半导体制造技术领域取得了重大突破，成功实现了适用于超2nm(纳米，即10^-9米)一代的逻辑半导体光掩模所需的精细图案分辨率。这一成就为极紫外光(EUV)光刻技术提供了有力支持，该技术是半导体制造领域的尖端工艺之一。

DNP的这次技术突破不仅满足了当前半导体行业对高精度、高分辨率光掩模的迫切需求，更为未来超2nm的下一代半导体制造铺平了道路。据悉，DNP已经完成了与高数值孔径(NA)2光掩模相关的标准评估工作。高数值孔径技术是下一代半导体制造中备受瞩目的技术之一，有望为半导体制造带来更高的分辨率和更精细的图案。

随着技术的不断进步，高性能、低功耗的半导体已经成为行业发展的必然趋势。而DNP此次实现的高分辨率光掩模技术，正是实现这一目标的关键所在。通过该技术，半导体制造商可以在硅晶圆上以更高的精度形成精细图案，从而提升半导体的性能和功耗表现。

值得一提的是，DNP已经开始提供评估光掩模，以便与业界伙伴共同验证和推进这一新技术的应用。这一举措不仅彰显了DNP在半导体制造技术领域的领先地位，更为整个半导体产业的未来发展注入了新的活力。