激光退火后，碳化硅衬底TTV变化管控

一、激光退火在碳化硅衬底加工中的作用与挑战

激光退火是一种先进的热处理技术，通过局部高温作用，能够修复碳化硅衬底中的晶格缺陷，提高晶体质量，优化掺杂元素的分布，从而改善材料的导电性能和表面结构。然而，激光退火过程中，由于激光能量分布的不均匀性、退火参数的精确控制难度以及衬底材料的初始状态等因素，往往会导致衬底表面TTV的变化，进而影响后续加工工序和最终产品的性能。

二、影响激光退火后TTV变化的关键因素

激光能量分布：激光退火过程中，激光能量的分布直接影响退火区域的温度和热应力分布。不均匀的能量分布会导致退火区域的不均匀收缩，进而引起TTV的变化。

退火参数：包括激光功率、退火时间、扫描速度等。这些参数直接影响退火深度和温度梯度，从而影响TTV的变化。

衬底初始状态：衬底的初始厚度、表面粗糙度、晶格缺陷等也会影响激光退火后的TTV。初始状态的不均匀性会加剧退火过程中的不均匀性。

退火环境：退火过程中的气氛、温度梯度等环境因素也会影响TTV的变化。例如，氧气存在时，可能引发表面氧化，导致额外的TTV变化。

三、激光退火后TTV变化管控的策略

优化激光能量分布：采用先进的激光控制系统，实现激光能量的均匀分布。通过调整激光束的形状、大小和扫描模式，确保退火区域的温度分布均匀，减少TTV的变化。

精确控制退火参数：通过实验验证和模拟仿真，确定最佳的退火参数组合。采用高精度的控制系统，实现激光功率、退火时间、扫描速度等参数的精确控制，确保退火深度和温度梯度的稳定性。

改善衬底初始状态：采用先进的衬底制备工艺，提高衬底的初始厚度均匀性和表面质量。通过严格的检测手段，确保衬底在激光退火前的初始状态符合加工要求。

优化退火环境：控制退火过程中的气氛和温度梯度，避免表面氧化和额外的TTV变化。采用惰性气氛或真空环境进行退火，以减少氧气的影响。同时，优化退火设备的热设计，确保温度梯度的稳定性和可控性。

引入先进检测技术：在激光退火后，采用高精度的测量仪器对衬底的TTV进行实时监测和反馈。根据测量结果，及时调整退火参数和工艺条件，确保产品质量的稳定性和一致性。

四、结论与展望

激光退火后碳化硅衬底TTV变化的管控是确保碳化硅衬底加工精度和可靠性的重要环节。通过优化激光能量分布、精确控制退火参数、改善衬底初始状态、优化退火环境以及引入先进检测技术，我们可以有效降低激光退火后的TTV变化，提高碳化硅衬底的一致性和可靠性。未来，随着碳化硅材料在半导体领域的广泛应用，对碳化硅衬底TTV控制的要求将越来越高。因此，我们需要不断探索和创新，以更加高效、精准的方式实现碳化硅衬底的高质量加工。

五、高通量晶圆测厚系统

高通量晶圆测厚系统以光学相干层析成像原理，可解决晶圆/晶片厚度TTV（Total Thickness Variation，总厚度偏差）、BOW（弯曲度）、WARP（翘曲度），TIR（Total Indicated Reading 总指示读数，STIR（Site Total Indicated Reading 局部总指示读数），LTV（Local Thickness Variation 局部厚度偏差）等这类技术指标；

高通量晶圆测厚系统，全新采用的第三代可调谐扫频激光技术，传统上下双探头对射扫描方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圆片，一次性测量所有平面度及厚度参数。

1,灵活适用更复杂的材料，从轻掺到重掺 P 型硅 (P++)，碳化硅，蓝宝石，玻璃，铌酸锂等晶圆材料。

重掺型硅（强吸收晶圆的前后表面探测）

粗糙的晶圆表面，（点扫描的第三代扫频激光，相比靠光谱探测方案，不易受到光谱中相邻单位的串扰噪声影响，因而对测量粗糙表面晶圆）

低反射的碳化硅(SiC)和铌酸锂(LiNbO3)；（通过对偏振效应的补偿，加强对低反射晶圆表面测量的信噪比）

绝缘体上硅（SOI)和MEMS，可同时测量多 层 结 构，厚 度 可 从μm级到数百μm 级不等。

可用于测量各类薄膜厚度，厚度最薄可低至 4 μm ，精度可达1nm。

1，可调谐扫频激光的“温漂”处理能力，体现在极端工作环境中抗干扰能力强，一改过去传统晶圆测量对于“主动式减震平台”的重度依赖，成本显著降低。

2，灵活的运动控制方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圆片测量。