如何提高防震基座的安装精度？

如何提高防震基座的安装精度？-江苏泊苏系统集成有限公司

一：安装前的准备工作

1，精确测量与场地准备

（1)在安装防震基座之前，需要对安装场地进行精确测量。使用高精度的水准仪、经纬仪或全站仪等测量仪器，测量地面的平整度和水平度，确保地面的平整度误差在允许范围内。例如，对于高精度半导体设备的防震基座安装，地面平整度误差一般要求控制在 ±1mm/m 以内。

(2)根据设备的布局和防震基座的尺寸，在地面上精确标记出基座的安装位置。标记应清晰、准确，误差不超过几毫米，为后续的安装提供准确的参考。

2,基座和设备的检验

(1）对防震基座本身进行质量检验，检查其尺寸精度、表面平整度、材料质量等。例如，检查基座的平面度，使用塞尺或光学平面度测量仪，确保平面度误差符合设备要求，一般高端半导体设备防震基座平面度误差要求在 ±0.02mm 以内。

（2）对即将安装的设备进行检查，了解设备的重心位置、重量分布、底部接口形状和尺寸等信息。根据设备的特点，提前确定安装方式和调整措施，确保设备与防震基座能够精准匹配。

3，安装工具和材料准备

（1）选择高精度的安装工具，如激光水平仪、高精度扭矩扳手等。激光水平仪能够提供精确的水平和垂直参考线，帮助安装人员调整基座的位置；高精度扭矩扳手可以确保螺栓拧紧力矩符合要求，保证基座的连接稳定性。

（2）准备合适的安装材料，如高精度垫片、地脚螺栓等。垫片的厚度精度应能达到微米级别，用于精确调整基座的水平度和高度；地脚螺栓的材质和规格应符合设计要求，确保牢固连接基座和地面。

二：安装过程中的操作要点

1，精确安装定位

（1）利用激光对准技术或精密定位销等方式，将防震基座精确地放置在预先标记好的安装位置上。在放置过程中，要缓慢、平稳，避免碰撞导致基座位置偏移。例如，对于一些小型精密的防震基座，可以使用光学对准系统，将基座上的定位标记与地面上的标记精确对准，定位精度可达到 ±0.1mm。

（2）对于有多个防震基座的大型设备安装，要使用高精度的测量工具，如电子水平仪，确保各个基座之间的水平度和高度差在允许范围内。一般要求相邻基座的高度差不超过 ±0.05mm，以保证设备安装后的整体稳定性。

2，精细调整与找平

（1）在初步定位后，使用高精度垫片对防震基座进行精细调整。通过在基座底部不同位置添加或更换不同厚度的垫片，调整基座的水平度和高度。在调整过程中，持续使用水平仪进行监测，直到基座的水平度达到设备要求。例如，在安装光刻机的防震基座时，水平度误差可能需要控制在 ±0.01mm/m 以内。

（2）对于需要精确垂直安装的基座，使用经纬仪或激光铅垂仪进行垂直度调整。调整过程中要注意多个方向的垂直度，确保基座在各个平面内的垂直度都符合要求，以保证设备安装后的正常运行。

3，牢固连接与固定

（1）使用地脚螺栓将防震基座牢固地固定在地面上。在拧紧螺栓时，要按照规定的扭矩值，使用高精度扭矩扳手进行操作，确保每个螺栓的拧紧力矩一致。例如，对于一些重型半导体设备的防震基座，地脚螺栓的拧紧力矩误差应控制在 ±5% 以内，以保证基座与地面的连接强度和稳定性。

（2）对于采用焊接方式连接的部分，要选择合适的焊接工艺和材料，确保焊接质量。焊接后要进行无损检测，如超声波探伤或射线探伤，检查焊接部位是否存在缺陷，保证连接的可靠性。

三：安装后的检查与校准

1，安装质量检查

（1）安装完成后，使用高精度的测量仪器对防震基座的安装精度进行全面检查。包括检查基座的水平度、垂直度、平面度以及与相邻基座的相对位置关系等。检查结果要与设备安装要求进行对比，确保所有参数都在允许范围内。

（2）对基座与设备的连接部位进行检查，查看是否有松动、变形或间隙过大等情况。如果发现问题，要及时进行调整和修复，避免在设备运行过程中出现振动或位移。

2，设备安装后的校准

（1)在设备安装到防震基座上之后，要对设备进行校准。对于一些有高精度要求的设备，如光刻机、电子束曝光机等，要使用设备自带的校准系统或专业的校准工具，对设备的关键参数进行校准。例如，光刻机需要校准曝光剂量、焦距等参数，确保设备在防震基座上能够正常运行，达到预期的生产精度。

(2)根据设备的运行要求和安装精度标准，进行空载和负载试运行。在试运行过程中，监测设备的振动情况、运行稳定性和产品质量等指标。如果发现异常振动或产品质量下降等情况，要及时分析原因，可能需要对防震基座的安装精度进行再次调整。