如何提高防震基座的安装精度?-江苏泊苏系统集成有限公司
一:安装前的准备工作
1,精确测量与场地准备
(1)在安装防震基座之前,需要对安装场地进行精确测量。使用高精度的水准仪、经纬仪或全站仪等测量仪器,测量地面的平整度和水平度,确保地面的平整度误差在允许范围内。例如,对于高精度半导体设备的防震基座安装,地面平整度误差一般要求控制在 ±1mm/m 以内。
(2)根据设备的布局和防震基座的尺寸,在地面上精确标记出基座的安装位置。标记应清晰、准确,误差不超过几毫米,为后续的安装提供准确的参考。
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2,基座和设备的检验
(1)对防震基座本身进行质量检验,检查其尺寸精度、表面平整度、材料质量等。例如,检查基座的平面度,使用塞尺或光学平面度测量仪,确保平面度误差符合设备要求,一般高端半导体设备防震基座平面度误差要求在 ±0.02mm 以内。
(2)对即将安装的设备进行检查,了解设备的重心位置、重量分布、底部接口形状和尺寸等信息。根据设备的特点,提前确定安装方式和调整措施,确保设备与防震基座能够精准匹配。
3,安装工具和材料准备
(1)选择高精度的安装工具,如激光水平仪、高精度扭矩扳手等。激光水平仪能够提供精确的水平和垂直参考线,帮助安装人员调整基座的位置;高精度扭矩扳手可以确保螺栓拧紧力矩符合要求,保证基座的连接稳定性。
(2)准备合适的安装材料,如高精度垫片、地脚螺栓等。垫片的厚度精度应能达到微米级别,用于精确调整基座的水平度和高度;地脚螺栓的材质和规格应符合设计要求,确保牢固连接基座和地面。
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二:安装过程中的操作要点
1,精确安装定位
(1)利用激光对准技术或精密定位销等方式,将防震基座精确地放置在预先标记好的安装位置上。在放置过程中,要缓慢、平稳,避免碰撞导致基座位置偏移。例如,对于一些小型精密的防震基座,可以使用光学对准系统,将基座上的定位标记与地面上的标记精确对准,定位精度可达到 ±0.1mm。
(2)对于有多个防震基座的大型设备安装,要使用高精度的测量工具,如电子水平仪,确保各个基座之间的水平度和高度差在允许范围内。一般要求相邻基座的高度差不超过 ±0.05mm,以保证设备安装后的整体稳定性。
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2,精细调整与找平
(1)在初步定位后,使用高精度垫片对防震基座进行精细调整。通过在基座底部不同位置添加或更换不同厚度的垫片,调整基座的水平度和高度。在调整过程中,持续使用水平仪进行监测,直到基座的水平度达到设备要求。例如,在安装光刻机的防震基座时,水平度误差可能需要控制在 ±0.01mm/m 以内。
(2)对于需要精确垂直安装的基座,使用经纬仪或激光铅垂仪进行垂直度调整。调整过程中要注意多个方向的垂直度,确保基座在各个平面内的垂直度都符合要求,以保证设备安装后的正常运行。
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3,牢固连接与固定
(1)使用地脚螺栓将防震基座牢固地固定在地面上。在拧紧螺栓时,要按照规定的扭矩值,使用高精度扭矩扳手进行操作,确保每个螺栓的拧紧力矩一致。例如,对于一些重型半导体设备的防震基座,地脚螺栓的拧紧力矩误差应控制在 ±5% 以内,以保证基座与地面的连接强度和稳定性。
(2)对于采用焊接方式连接的部分,要选择合适的焊接工艺和材料,确保焊接质量。焊接后要进行无损检测,如超声波探伤或射线探伤,检查焊接部位是否存在缺陷,保证连接的可靠性。
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三:安装后的检查与校准
1,安装质量检查
(1)安装完成后,使用高精度的测量仪器对防震基座的安装精度进行全面检查。包括检查基座的水平度、垂直度、平面度以及与相邻基座的相对位置关系等。检查结果要与设备安装要求进行对比,确保所有参数都在允许范围内。
(2)对基座与设备的连接部位进行检查,查看是否有松动、变形或间隙过大等情况。如果发现问题,要及时进行调整和修复,避免在设备运行过程中出现振动或位移。
2,设备安装后的校准
(1)在设备安装到防震基座上之后,要对设备进行校准。对于一些有高精度要求的设备,如光刻机、电子束曝光机等,要使用设备自带的校准系统或专业的校准工具,对设备的关键参数进行校准。例如,光刻机需要校准曝光剂量、焦距等参数,确保设备在防震基座上能够正常运行,达到预期的生产精度。
(2)根据设备的运行要求和安装精度标准,进行空载和负载试运行。在试运行过程中,监测设备的振动情况、运行稳定性和产品质量等指标。如果发现异常振动或产品质量下降等情况,要及时分析原因,可能需要对防震基座的安装精度进行再次调整。
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