防震基座的定制生产流程

防震基座的定制生产流程-江苏泊苏系统集成有限公司

一：需求沟通与分析阶段

1，客户需求收集

（1）与客户进行详细沟通，了解半导体设备的基本信息，包括设备类型（如光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等）、设备尺寸（长、宽、高）、设备重量（包括满载和空载状态）、设备重心位置等。这些参数对于设计防震基座的承载能力和稳定性至关重要。

（2）询问设备的振动特性，如设备运行时产生振动的频率范围、振幅大小、振动方向等。同时，了解设备的工作环境要求，例如是否在无尘车间、温湿度控制范围、有无化学腐蚀风险等。

（3)明确客户对防震基座的特殊要求，如安装方式（是否需要与特定的地面或支架连接）、外观要求（颜色、形状是否需要与车间整体风格匹配）、防震性能指标（如隔振率、共振频率等）、维护便利性（是否易于拆卸、检修）等。

2,需求分析与评估

(1)技术团队对收集到的客户需求进行综合分析。根据设备重量和重心位置，计算防震基座所需的承载能力和合理的结构布局，确保基座在承受设备重量时不会发生变形或损坏。

(2)针对设备的振动特性，分析需要采用何种隔振技术和材料来达到预期的防震效果。例如，对于低频振动较强的设备，可能需要选用具有良好低频隔振性能的弹性材料。

(3)考虑工作环境因素，评估不同材料在特定温湿度和化学环境下的适用性。如在高湿度环境下，要避免使用容易生锈的金属材料；在有化学腐蚀风险的环境中，选择耐腐蚀的材料制作基座。

二：设计阶段

1，概念设计

（1）根据需求分析结果，设计团队开展概念设计。确定防震基座的整体架构，如采用单层或多层结构，是否需要增加辅助支撑部件等。对于大型或重型设备的防震基座，可能需要设计为多层结构，以分散设备重量并提高稳定性。

（2）选择合适的隔振元件，如空气弹簧、橡胶隔振器、金属弹簧等，并初步规划其布局。例如，对于对振动敏感的高精度设备，可能会采用多个空气弹簧组合的方式，以提供更均匀的隔振效果。

（3）设计安装接口，确保防震基座能够与设备底部和安装场地（如车间地面或设备支架）紧密连接。安装接口的设计要考虑设备的安装方式和连接强度要求，如采用螺栓连接时，要确定螺栓的规格、数量和分布位置。

2，详细设计

（1）使用专业的计算机辅助设计（CAD）软件，将概念设计细化为详细的三维模型。精确绘制基座的各个部件，包括主体结构、隔振元件、安装接口、加强筋等，明确每个部件的尺寸、形状和位置关系。

（2)在设计过程中，考虑制造工艺的可行性。例如，避免设计过于复杂的形状，以免增加加工难度和成本；对于需要焊接的部件，设计合理的焊接接头形式，以确保焊接质量。

(3)进行工程计算，验证设计的合理性。通过力学计算，评估基座在承载设备重量和承受设备振动时的应力分布，确保应力在材料的允许范围内。同时，对隔振系统进行理论计算，预测其隔振性能，如隔振率、共振频率等指标是否满足设计要求。

3,设计评审与优化

(1)组织内部设计评审会议，邀请机械工程师、材料专家、制造工艺工程师等相关人员参与。对设计方案进行全面审查，检查是否存在设计缺陷、是否符合客户需求、是否满足相关标准和规范等。

(2)根据评审意见，对设计方案进行优化。例如，调整隔振元件的参数以提高隔振效果，优化部件结构以减轻重量或降低成本，改进安装接口设计以提高安装便利性等。

三：原材料采购与零部件制造阶段

1，原材料采购

（1）根据设计要求，采购高质量的原材料。对于金属材料，如钢材、铝合金等，要选择符合国家标准或行业标准的优质材料，确保材料的强度、硬度、韧性等性能指标满足设计要求。

（2）采购隔振元件时，选择有良好信誉和质量保证的供应商。对隔振元件进行抽样检测，检查其弹性性能、阻尼特性、疲劳寿命等参数是否符合设计要求。

（3）对于需要特殊处理的材料，如表面需要防腐涂层、防火涂层等，采购相应的涂料和处理材料，并确保其环保性和耐用性符合要求。

2，零部件制造

（1)按照设计图纸和工艺要求，对防震基座的零部件进行制造。对于金属结构部件，通常采用数控加工（如数控铣削、数控车削）、锻造、铸造等工艺。在加工过程中，严格控制加工精度，使用量具（如卡尺、千分尺、三坐标测量仪等）对加工尺寸进行实时监测。

(2)制造隔振元件时，严格按照设计的配方和工艺进行生产。例如，对于橡胶隔振器，要控制橡胶的硫化温度、时间和压力等参数，确保橡胶的性能均匀一致。

(3)在零部件制造过程中，进行质量检验。对每个零部件进行外观检查，查看是否有表面缺陷（如裂纹、砂眼、气孔等）；进行性能测试，如对金属部件进行硬度测试、对隔振元件进行弹性模量测试等，确保零部件质量符合设计要求。

四,组装与调试阶段

1，组装

（1）将制造好的零部件运输到组装车间，按照装配图和装配工艺规程进行组装。在组装过程中，确保隔振元件正确安装，连接部位牢固可靠。例如，安装空气弹簧时，要确保其充气接口密封良好，与基座和设备的连接紧密。

（2）对组装好的防震基座进行初步检查，查看各部件的安装位置是否正确，连接螺栓是否拧紧，外观是否符合要求等。

2，调试

(1)使用专业的振动测试设备，对组装好的防震基座进行调试。模拟设备运行时的振动环境，向基座施加不同频率和振幅的振动激励，测量基座的振动响应。通过测试，获取基座的实际隔振性能数据，如传递率曲线、共振频率等。

(2）将实际测试结果与设计要求进行对比。如果隔振性能未达到设计要求，分析原因并进行调整。可能需要更换隔振元件、调整隔振元件的参数（如空气弹簧的气压、橡胶隔振器的刚度等）或对基座结构进行局部修改。

五：质量检验与验收阶段

1，质量检验

（1）对经过调试后的防震基座进行全面质量检验。检查外观质量，包括表面平整度、涂层质量、部件的装配质量等；进行性能检验，再次验证基座的承载能力、隔振性能等指标是否符合设计要求。

（2）按照相关标准和规范，对防震基座进行质量认证。例如，检查是否符合 ISO 质量管理体系标准、是否满足行业内的机械安全标准等。

2，客户验收

（1)邀请客户到生产现场进行验收。向客户展示防震基座的功能和性能，提供详细的测试报告和质量认证文件。现场演示基座的安装过程和使用方法，解答客户的疑问。

(2)根据客户的验收意见，对防震基座进行最后的调整和完善。确保客户对产品满意后，办理交付手续。

六：包装与交付阶段

1，包装

（1）根据防震基座的尺寸和运输要求，选择合适的包装材料和包装方式。对于大型或重型基座，可能需要使用木质包装箱，并在基座与包装箱之间填充缓冲材料（如泡沫塑料、气垫薄膜等），以防止在运输过程中受到碰撞和损坏。

（2）在包装上标注产品名称、型号、重量、尺寸、运输注意事项等信息，确保产品在运输过程中能够得到正确的处理。

2，交付

安排合适的运输方式，将包装好的防震基座运送到客户指定的地点。与客户保持沟通，确保产品按时、安全地交付。同时，向客户提供售后服务承诺，如产品质保期、维修服务方式等。