如何降低半导体制造无尘车间设备振动问题的影响？

如何降低半导体制造无尘车间设备振动问题的影响？-江苏泊苏系统集成有限公司

要降低无尘车间设备振动问题的影响，需要从设备选型与安装、振动监测与控制、车间环境管理等方面综合采取措施，以下是具体方法：

一：设备选型与安装

1，选择低振动设备：在采购设备时，优先选择经过严格动平衡测试、振动水平低的设备。例如对于风机，可选择采用先进的叶轮设计和制造工艺、运行时振动小的品牌和型号；对于泵类设备，可选用具有良好减振措施的磁力泵或屏蔽泵等。

2，正确安装设备

（1）精确找正与找平：安装设备时，使用高精度的测量工具，如激光水平仪、百分表等，确保设备安装位置准确，水平度和垂直度偏差在允许范围内，使设备各部件受力均匀，减少因安装偏差导致的振动。

（2)合理连接与固定：设备的管道连接应采用柔性连接方式，如使用金属软管、橡胶软接头等，避免管道应力传递到设备上引起振动；同时，按照设备安装说明书的要求，使用合适的螺栓和垫片，均匀拧紧连接螺栓，确保设备与基础或支架连接牢固。

2，安装隔振装置

（1）选择合适的隔振器：根据设备的重量、振动频率和振幅等参数，选择合适类型的隔振器，如光刻机隔振器、RC水泥型隔振器、刚机构承重型隔振器等。例如，对于重量较大、低频振动明显的设备，可选用钢结构隔振器；对于高频振动设备，RC水泥型隔振器可能具有更好的隔振效果；而对于对振动要求极高的精密设备，光刻机隔振器能提供更精准的隔振。

（2）正确安装隔振器：严格按照隔振器的安装说明书进行安装，确保隔振器的安装位置正确，受力均匀，避免出现偏载或倾斜现象，以充分发挥隔振器的隔振性能。

二：振动监测与控制

1，建立振动监测系统：在无尘车间内安装振动传感器，对关键设备的振动情况进行实时监测。通过数据分析软件，对监测数据进行处理和分析，及时发现振动异常情况，并发出报警信号，以便工作人员及时采取措施。

2，实施主动减振控制：对于一些对振动敏感的关键设备，可以采用主动减振技术。例如，在设备上安装主动减振器，通过传感器实时监测设备的振动状态，然后由控制器根据监测数据驱动主动减振器产生与振动方向相反的力，抵消部分或全部振动，实现对设备振动的主动控制。

3，定期维护与检修设备：制定详细的设备维护计划，定期对设备进行检查、保养和维修。例如，定期检查设备的旋转部件和往复运动部件的磨损情况，及时更换磨损严重的零部件；对设备进行动平衡和静平衡测试，发现不平衡及时进行调整；检查设备的润滑系统，确保各部件得到良好的润滑，减少摩擦引起的振动。

三：车间环境管理

1，隔绝外部振动源

（1）设置隔振沟或隔振墙：在无尘车间周围设置隔振沟或隔振墙，切断外部振动源通过地面传播的路径。隔振沟的深度和宽度应根据外部振动源的强度和频率等因素进行设计，一般深度在 1-2 米左右，宽度在 0.5-1 米左右；隔振墙可采用具有良好隔振性能的材料，如橡胶混凝土等。

（2）优化车间布局：合理规划车间内设备的布局，将对振动敏感的设备远离可能的外部振动源，如车间出入口、道路附近等。同时，避免将高振动设备与敏感设备相邻放置，减少设备之间的振动相互影响。

2,优化车间气流

(1)组织合理设计通风系统：对车间的通风系统进行优化设计，合理选择通风管道的尺寸、风速和风口布置方式，确保气流均匀、稳定，减少气流冲击引起的管道振动和设备振动。例如，可采用变风量通风系统，根据车间内的实际需求自动调节风量和风速。

(2)安装气流稳定装置：在通风管道内安装气流稳定装置，如整流器、消声器等，对气流进行整流和消声处理，降低气流的紊流度和噪声，减少气流振动的产生。

3,稳定车间温度环境：采用高精度的温度控制系统，确保车间内温度保持稳定，减少因温度变化引起的设备零部件热胀冷缩导致的振动。同时，对设备进行保温处理，避免设备局部温度变化过大。