氦质谱检漏方法简介及方法选择

很多设备在制造的过程中或者在使用中，需要进行检漏；很多产品在生产中或者完成后，也会需要检漏；根据对泄漏多少的要求不同，有很多不同的检漏方法可供选择。用肥皂水的冒泡法、保压法、超声波检漏、红外检漏、空气检漏、六氟化硫检漏、氢气检漏、氦质谱检漏等等。如果要求检漏过程清洁，不污染环境、工件、产品；可以对复杂工件进行检漏；适合批量产品或超大工件检漏；检漏精度高……那一定是氦质谱检漏仪提供的氦质谱检漏方法。

氦质谱检漏仪的检漏方法，主要包括负压法（真空法、喷氦法）、正压法（吸气法、吸枪法）、背压法（压氦法），以及根据实际待检产品的不同，衍生出很多氦检漏方法。

负压法（真空法、喷氦法）检漏：

负压法是常用的氦检漏方法之一。工件的内部抽真空，在工件的外部，对工件表面喷氦气，由于内外压差，如何工件有漏，氦气会被吸入工件内部，通过真空泵抽气，氦气会被氦质谱检漏仪捕捉到，根据捕获氦气数量的多少，表示不同的漏率。负压法以及衍生出的氦检漏方法，适用于汽车零部件、镀膜行业、真空炉、真空阀门、真空配件、压力容器、真空腔体、真空系统、真空管路等检漏。

正压法（吸气法、吸枪法）检漏：

正压法是在工件内部充入氦气或者按一定比例充入氦气，使用氦质谱检漏仪专用吸枪（或吸气线），在工件表面逐点进行检测，查出漏点。正压法检漏时，要求工件内部氦气或氦气混合气的压力大于绝对1bar（即工件内部压力大于外部环境的压力）。正常周围大气环境中，含有约5ppm的氦气，正压法的精度相对负压法较低，并且容易受到泄漏到环境中的氦气影响。正压法及衍生的氦检漏方法，适用于高压管路、高压设备、换热器、制冷设备、汽轮机、特种阀门、特种设备等。

背压法（压氦法）检漏：

背压法检漏，是将工件放入压氦罐中，在固定压力下，保持数小时或数天，将工件取出后，立刻将工件放入真空箱内，用氦质谱检漏仪进行检漏。背压法通常适用于芯片、电子元器件等小样品。

在实际检漏中，负压法、正压法、背压法及衍生的氦检漏方法，被广泛使用。甚至，有时一个工件，会用到两种或两种以上的氦检漏方法。选择适合的检漏方法，需要考虑的因素比较多，例如工艺流程、工件的体积大小、工件本身的材质、工件的承压、容许的漏率、工况条件、环境因素、检测条件、时间因素、安全性、经济性等众多因素。只有综合考虑各种因素后，才能选择出适合的检漏方法。例如：高压的换热器。在换热器生产中，通常会选择负压法检漏，抽真空的设备可以反复使用，氦气用量比较少，甚至可以增加氦气回收装置。因为换热器的使用，是在正压的条件下使用；在出厂前，会用正压法检漏，接近或模拟实际工况检漏，更接近于实际使用环境。换热器在使用中，维修时的检漏，通常会选择正压法检漏；换热器使用场所不具备抽真空的设备，或者换热器使用中，有污染残留，不适合抽真空；此种条件下，对换热器充入氦气或混合氦气，用正压法检漏，更适合。

检漏方法的选择，一定要根据实际的工况而定。如果工件是在真空条件下工作，一定要选择负压法检漏。如果工件是在正压下工作，一定要选择正压法检漏。例如，带压力工作的管路，很多时候，考虑经济性，会采用负压法进行检漏。但是，在负压法检漏下，管路在正压条件下工作时，就一定会不漏么？答案是不一定的。可能是绝大部分是不漏的，但是也有漏网之鱼。

检漏方法很多，但是，一定要根据实际工况，选择检漏方法！与工况相符的检漏才是正确的检漏方法。