0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

科普:氦质谱检漏仪的检漏原理

金鉴实验室 2025-01-17 15:01 次阅读

密封性检测的必要性

密封性对于各类设备和容器至关重要。以真空设备为例,如真空镀膜机、液晶注入机、PVD设备以及半导体外延设备等,这些设备需在真空环境下运行。一旦空气渗入工作腔体,不仅会导致生产流程受阻,还会产生次品,造成资源浪费。此外,储存液体或气体的容器,如液压气瓶、氧气瓶、空调冰箱中的制冷剂容器等,在存在内外压差时,必须严防气体或液体泄漏。泄漏不仅会导致有效物资浪费,若涉及有毒、腐蚀性气体,还可能引发严重事故。因此,对这些有密封性要求的产品或设备,在投入使用前及使用过程中定期进行密封性检测是保障安全、确保正常运行的关键环节。

泄漏程度的量化指标

量化泄漏程度是密封性检测的重要环节。通常,可以通过单位时间内单位体积容器压强的变化来衡量泄漏程度。以自行车胎为例,其容积为4L,若30天内胎压从3bar降至2bar,漏率较高,通过简单将车胎浸入水中观察气泡即可发现漏点。然而,对于冰箱制冷剂泄漏情况则不同。若1年内泄漏10克(分子量102g/mol),约2.24bar·l,这种程度的泄漏对冰箱影响严重,但普通方法难以检测。此时,需借助检漏仪或质谱仪才能精准定位漏点。在进行密封性检测时,准确量化泄漏程度有助于选择合适的检测方法与设备。

wKgZO2eKACSAbnhSAAAWK8v6aN4407.png

wKgZPGeKACmAEFSQAAAWFWD-lvo342.png

检漏仪检漏原理

1.正压检漏(Sniffer检漏)

正压检漏是将示踪气体置于容器内,使容器处于正压状态,然后用仪器检测容器周边是否有该气体。若在容器外检测到示踪气体,说明容器存在泄漏。此方法不仅可以确定漏点,还能大致判断泄漏程度。它适用于检测物件工作时内部处于正压的情况,如高压容器或充气设备等。通过这种方式,可以快速定位泄漏位置,为维修和维护提供依据。

wKgZPGeKAC-ANUgeAAH7Bi4z4pc155.png

2.背压法

将被检件放入充氦箱,充入一定压力的氦气。在规定的加氦时间内,如果被检件有漏孔,示漏气体会通过漏孔进入到被检件内部。然后取出被检件,吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中,再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽真空,实施检漏。若器件有漏,则通过该漏孔压入的氦气又释放出来进入检漏罐,最终到达质谱管。

3.真空检漏(负压检漏)

真空检漏则是将示踪气体喷于容器外部,用仪器检测容器内是否有该气体。这种方式不仅能检测漏点,还能精准测量漏率。它适合检测物件工作时内部处于负压状态,如真空包装设备或真空系统等。通过真空检漏,可以确保设备在负压环境下的密封性,防止外界气体或杂质进入,影响设备的正常运行。

选择合适的检漏方式需考虑检测物件的工作环境,尽量与物件的工作状态保持一致,以确保检测结果的准确性和可靠性。

示踪气体的选择标准

1.无害性

示踪气体应不对人体或环境造成伤害,保障检测过程的安全性。在检测过程中,操作人员可能会接触到示踪气体,因此选择无害的气体可以确保人员的安全。同时,无害的示踪气体也不会对环境造成污染,符合环保要求。

2.轻质与惰性

示踪气体应质量轻、化学性质稳定且为惰性气体。轻质的气体能够轻易穿透微小细缝,便于检测微小泄漏。惰性气体不会与其他物质发生化学反应,不会干扰检测过程,也不会对被检测设备或容器造成损害。例如,氦气(He)是一种典型的轻质惰性气体,它在空气中的含量少,质量轻,运动速度快,直线运动距离长,且容易获取,可大量使用。

3.稳定性

示踪气体应化学性质稳定,不会发生化学反应,也不会易燃易爆,确保检测过程的安全稳定。稳定的示踪气体可以保证检测结果的准确性,避免因气体的不稳定而产生误报或漏报。在检测过程中,稳定的示踪气体能够提供可靠的检测信号,帮助准确判断泄漏情况。

4.低空气含量

示踪气体在空气中的含量应尽可能少,以提高检漏灵敏度,精准检测泄漏。如果示踪气体在空气中的含量较高,可能会导致检测信号的干扰,降低检测的准确性。选择低空气含量的示踪气体可以提高检测的灵敏度,使微小泄漏也能够被及时发现。在实际应用中,氦气(He)是常用的示踪气体。它不仅满足上述所有条件,而且在空气中的含量极少,约为5ppm,这使得氦气成为理想的示踪气体。虽然氢气(H₂)也具备一些理想特性,如质量轻、扩散速度快等,但因存在一定的安全问题,如易燃易爆,实际检漏中大多选用氦气作为示踪气体,以确保检测过程的安全与高效。

结论

密封性检测在工业生产和日常生活中具有重要意义。通过量化泄漏程度、选择合适的检漏方法和示踪气体,可以有效保障设备的正常运行和安全。示踪气体的选择应考虑无害性、轻质与惰性、稳定性和低空气含量等因素。氦气作为常用的示踪气体,因其优异的特性,在密封性检测中得到了广泛应用。未来,随着检测技术的不断发展,密封性检测将更加精准和高效,为各行业的安全运行提供有力保障。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 检测
    +关注

    关注

    5

    文章

    4520

    浏览量

    91799
  • 密封
    +关注

    关注

    0

    文章

    131

    浏览量

    21500
  • 检漏仪
    +关注

    关注

    0

    文章

    110

    浏览量

    7787
收藏 人收藏

    相关推荐

    Modbus转Profinet网关连接皖检漏仪SFJ-16M通信配置案例

    Modbus转Profinet网关XD-MDPN100连接皖检漏仪SFJ-16M,接入到西门子1200PLC,对氦气体进行实施监控,
    的头像 发表于 11-11 08:52 852次阅读
    Modbus转Profinet网关连接皖<b class='flag-5'>仪</b><b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b>SFJ-16M通信配置案例

    检漏仪激光器零件检漏

    上海伯东检漏仪激光器零件检漏,应用于航天的激光器零件, 中空夹层设计, 仅在两端焊接密封, 焊缝处漏率要求 < 10-9 Atm.cc
    的头像 发表于 06-28 13:22 1680次阅读
    <b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b>激光器零件<b class='flag-5'>检漏</b>

    检漏仪 5G 基站用连接器检漏

    上海伯东检漏仪 ASM 340W 对连接器进行检漏, 漏率要求 5x10-11pa m3/s 满足应用于 5G 网络基站建设和严苛环境
    的头像 发表于 06-28 13:28 887次阅读
    <b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b> 5G 基站用连接器<b class='flag-5'>检漏</b>

    检漏仪封装激光芯片检漏

    干式检漏仪ASM340D进行封装激光芯片的泄漏检测.封装激光芯片需要检漏:激光芯片在Box内进行封装,封装完成后的激光芯片漏率要求小于
    的头像 发表于 06-28 13:32 641次阅读
    <b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b>封装激光芯片<b class='flag-5'>检漏</b>

    检漏仪应用于真空镀膜生产线

    Si3 N4 氮化硅镀膜系统. 在某次维护之后, 抽真空时只能达到 80 mbar 的压力. 为了在如此高的工作压力之下依然能够进行检漏, 推荐选用上海伯东
    的头像 发表于 08-07 14:35 850次阅读
    <b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b>应用于真空镀膜生产线

    上海伯东检漏仪流量计检漏

    上海伯东代理德国 Pfeiffer 新款检漏仪 ASM 340 应用于科隆流量计检漏。流量计分为有差压式流量计、转子流量计、节流式流量
    的头像 发表于 08-09 16:08 1024次阅读
    上海伯东<b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b>流量计<b class='flag-5'>检漏</b>

    检漏仪高温真空烧结炉气密性泄露检测

    某客户生产汽车过滤网, 因高温真空烧结炉气密性不佳, 导致生产出的过滤网材料出现氧化质量问题, 经过上海伯东推荐, 选用检漏仪 ASM 340W 对真空烧结炉进行
    的头像 发表于 06-02 15:06 898次阅读
    <b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b>高温真空烧结炉气密性泄露检测

    检漏仪电子束***检漏

    , 通信设备等多个领域的研发及生产. 经过伯东推荐采购检漏仪 ASM 310 用于电子束光刻机腔体检漏.
    的头像 发表于 06-02 15:49 924次阅读
    <b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b>电子束***<b class='flag-5'>检漏</b>

    检漏仪 EUV ***检漏

    上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式
    的头像 发表于 06-02 15:53 894次阅读
    <b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b> EUV ***<b class='flag-5'>检漏</b>

    检漏仪 ASM 340W 锂电池盖帽(盖板)检漏系统

    上海伯东检漏仪 ASM 340W 适用于动力电池行业和汽车行业的检漏系统, 提供锂电池盖帽(盖板)
    的头像 发表于 09-13 10:53 427次阅读
    <b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏仪</b> ASM 340W 锂电池盖帽(盖板)<b class='flag-5'>检漏</b>系统

    检漏仪的工作原理 检漏仪的应用领域

    检漏仪是一种高精度的检漏设备,它利用氦气作为示踪气体,通过谱分析技术来检测系统中的微小漏
    的头像 发表于 11-26 15:01 812次阅读

    检漏仪与其他检漏仪的比较

    检漏仪与其他检漏仪的比较 在工业生产和科学研究中,检漏技术是确保产品质量和安全性的关键环节
    的头像 发表于 11-26 15:05 532次阅读

    检漏仪的使用注意事项

    检漏仪是一种高精度的检漏设备,广泛应用于各种工业领域,如真空系统、密封容器、电子器件等的泄漏检测。以下是使用
    的头像 发表于 11-26 15:07 404次阅读

    常见检漏仪故障及解决方法

    检漏仪是180°磁偏转型的谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。
    的头像 发表于 11-26 15:10 963次阅读

    检漏方法简介及方法选择

    检漏仪检漏方法,主要包括负压法(真空法、喷法)、正压法(吸气法、吸枪法)、背压法(压
    的头像 发表于 01-03 16:40 296次阅读
    <b class='flag-5'>氦</b><b class='flag-5'>质</b><b class='flag-5'>谱</b><b class='flag-5'>检漏</b>方法简介及方法选择